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Turbo-V 551 Navigator高真空泵

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更新時(shí)間:2024-07-26 07:10:36瀏覽次數(shù):254

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產(chǎn)品簡介

Turbo-V551Navigator采用MacroTorr拖動(dòng)技術(shù)的Turbo-V551Navigator渦輪分子泵能為一系列高真空應(yīng)用提供高壓縮比、高抽氣量和高出口壓力

詳細(xì)介紹

Turbo-V 551 Navigator

 

采用 MacroTorr 拖動(dòng)技術(shù)的 Turbo-V 551 Navigator 渦輪分子泵能為一系列高真空應(yīng)用提供高壓縮比、高抽氣量和高出口壓力。 V 551 內(nèi)的軸承和性干式潤滑劑消除了油的使用,實(shí)現(xiàn)了免維護(hù),并允許泵在任意角度安裝進(jìn)行操作。 安捷倫(前瓦里安)可提供配備 Navigator 泵機(jī)一體式控制器(集成了電子設(shè)備)或標(biāo)準(zhǔn)機(jī)架式控制器(用于簡單安裝)的 V 551 泵。 Turbo-V 551 可單獨(dú)作為泵出售,也可以與控制器、進(jìn)氣口濾網(wǎng)和電源線一起作為機(jī)組套件出售。 還擁有專為掃描電子顯微鏡優(yōu)化的泵版本,能限度地減少振動(dòng)和磁場特征。

 

 

 

 

 

特性

 

  • MacroTorr 牽引技術(shù)在緊湊經(jīng)濟(jì)的儀器中實(shí)現(xiàn)了更高的前級(jí)耐壓、更高的效率以及更小的前級(jí)泵
  • 固體潤滑劑極低的蒸汽壓保證了泵陶瓷軸承能保持潤滑
  • 泵可以在任意角度安裝和運(yùn)行
  • 免維護(hù)、無油、無填充、無污染
  • 精密的加熱設(shè)計(jì)減少了熱耗散和功耗
  • Navigator 泵機(jī)一體式控制器能提供即刻抽空操作,或者選用機(jī)架式控制器以匹配您當(dāng)前的系統(tǒng)體系
  • 可選擇在您的 PC 上運(yùn)行 T-plus 軟件以進(jìn)行遠(yuǎn)程操作和性能監(jiān)控
  • 用于 SEM 的泵采用比懸浮泵更的震動(dòng)隔離系統(tǒng),并且在同類產(chǎn)品中有著的磁場特征

 

 

 

 

 性能指標(biāo)


技術(shù)指標(biāo)

 

泵速

氮?dú)?/span>

氦氣

氦氣

   CFF 6 英寸

350 L/s

450 L/s

450 L/s

   CFF 8 英寸或 ISO 160

550 L/s

600 L/s

510 L/s 

壓縮比

1 x 109

1 x 107

1 x 106

極限真空(采用推薦前級(jí)泵)

小于 1 x 10-10 mbar(小于 1 x 10-10 Torr)

進(jìn)氣口法蘭選擇

CFF 6 英寸;CFF 8 英寸;ISO 160;ISO 160-F 螺栓

前級(jí)管道法蘭

KF25

轉(zhuǎn)速

42000 rpm

啟動(dòng)時(shí)間

小于 5 分鐘

推薦的前級(jí)泵

Agilent TS300 干式渦旋泵;

Agilent DS-302 旋片泵

工作位置

任意

冷卻要求

自然空氣對(duì)流;

可用水冷(請(qǐng)使用導(dǎo)電性為 500 µS/cm 的水)

烘烤溫度

120oC 在進(jìn)氣口法蘭處,值(CF 法蘭);

80oC 在進(jìn)氣口法蘭處,值(ISO 法蘭)

振動(dòng)參數(shù)(位移)

在進(jìn)氣口法蘭處小于 0.01 μm

重量,kg(磅)

ISO 法蘭:19.4 (43.0);

CF 和 ISO 螺栓法蘭: 23.4 (51.6)  

 

 

 

 

 

 

抽速圖 

 

 

 

 

外形圖

 

 

 

 

 

 

 

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