功能及特點

特點：

大量程與高精度的結(jié)合

超光滑表面的理想解決方案

軸承與光學(xué)領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備

技術(shù)參數(shù)：

(1)  傳感器型號：光學(xué)傳感器

(2)  傳感器多種測量范圍：①、10mm,  ②、15mm  ③、20mm

(3)  傳感器分辨率： 3.2nm/0.8nm

量程與分辨率之比：15,625,000 : 1

(4)  驅(qū)動長度 X / 最小: ①、120mm/0.1mm  ②、200mm/0.1mm

(5)  測量速度：0.1毫米/秒, 0.25毫米/秒, 0.5毫米/秒 和 1毫米/秒

(6)   驅(qū)動速度：0.1-10毫米/秒

(7)   測桿長度，針尖尺寸，測量力：臂長60毫米, 金剛石測針半徑2微米, 力度1mN 120毫米 arm,0.5毫米半徑球, 力度20mN