功能及特點(diǎn)

技術(shù)參數(shù)：

(1)   X軸水平驅(qū)動長度—/最?。?/span>200mm/0.1mm

(2)   X軸水平測量速度：13mm/s、最慢0.1mm/s

(3)   X軸數(shù)據(jù)采樣間隔：長度為200mm時(shí)0125µm

(4)   Z軸可使用高度：190mm

(5)   Z軸定位速度：0.25mm/s至10mm/s

(6)   標(biāo)稱傳感器（驅(qū)動箱在0°狀態(tài)）使用長測桿長度60mm時(shí)的量程：14mm

(7)   標(biāo)稱傳感器（驅(qū)動箱在0°狀態(tài)）使用長測桿長度120mm時(shí)的量程：28mm

(8)   分辨率：0.8nm@14mm量程

(9)   測針桿部長度、針尖尺寸、測力：60mm測桿、2µm半徑錐球形鉆石針尖、1mN接觸力

(10)   形狀誤差-Pt3(球校準(zhǔn)半徑誤差)：100nm@22mm,通常小于60nm@22mm

(11)   半徑測量不確定性：0.1mm-80mm=1%-0.005%標(biāo)稱值、80mm-1000mm=0.005%-0.1%標(biāo)稱值、1000mm-2000mm=0.1%標(biāo)稱值

(12)   測量工件的直徑、高度、重量：200mm、190mm、10kg