功能及特點(diǎn)

特點(diǎn)：
高精度的電感傳感器，具備的穩(wěn)定性和重復(fù)性
全新的測(cè)量系統(tǒng)與驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
表面粗糙度與輪廓測(cè)量的優(yōu)質(zhì)解決方案
全國(guó)計(jì)量體系認(rèn)證使用系統(tǒng)

技術(shù)參數(shù):
（1）傳感器類(lèi)型：電感傳感器
（2）三種水平驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度，X值/最小值：60mm/0.1mm，120mm/0.1mm,200mm/0.1mm
（3）驅(qū)動(dòng)/測(cè)量速度：10mm/s值 -- 0.1mm/s, 0.25mm/s, 0.5mm/s 和1mm/s
（4）X方向的最小數(shù)據(jù)取樣間隔：0.125µm [ 0.1mm到120mm長(zhǎng)度]
（5）直線度不確定度(Pt)2：0.5µm / 60mm ，0.5µm / 120mm ，0.75µm / 200mm
（6）直線度重復(fù)性：0.15µm/60mm, 0.15µm/120mm, 0.2µm/200mm
（7）分辨率：1mm量程時(shí)為16nm、0.2mm量程時(shí)為3.2nm
（8）量程與分辨率的比率：65,536 : 1
（9）測(cè)針臂長(zhǎng)度、針尖大小、測(cè)力：60mm臂, 2µm半徑錐球形金剛石, 1mN測(cè)力
（10）Z軸非線性：(0.05 Z [mm]) µm - 標(biāo)定后? (Z =傳感器位移)