功能及特點

特點：
此設(shè)備兼具精確性和便攜性。
垂直量程1 mm/分辨率16 nm可用于精密金屬成形和其它應(yīng)用的形狀（輪廓）和表面粗糙度測量。
水平驅(qū)動箱50 mm適用于大部分車間應(yīng)用。
0.40 μm/50 mm直線度誤差高精度驅(qū)動基準(zhǔn)支持測量包括大組件的波紋度、形狀和輪廓。

技術(shù)參數(shù)：
(1)傳感器類型： 電感傳感器
(2)測量量程：1mm
(3)分辨率： 1mm量程時16nm，0.2mm量程時3.2nm
(4)量程與分辨率之比： 65,536:1
(5)測量力： 0.7-1mN
(6)水平驅(qū)動箱：50mm量程
(7)直線度誤差：0.40µm/50mm
(8)水平數(shù)據(jù)采樣間距：0.5µm