測量范圍

X

600mm

Y

500mm

Z

200mm

自動對焦

自動對焦

玻璃臺面

650mm*550mm

承重

15kg

CCD

美國康斯特500萬像素 800TV線工業(yè)高清晰彩色CCD

變焦物鏡

美國MVTA 連續(xù)變倍變焦鏡頭0.7－4.5X(選配同軸光)，無需校正

視頻放大分倍率

影像倍數(shù)30X－200X

工作距離

95mm

顯示分辨率

0.0001mm

日本運動控制系統(tǒng)：全閉環(huán)控制：三軸伺服馬達(dá)全閉環(huán)控制

光柵尺

高精密封閉光柵尺 分辨率： 0.005mm

重復(fù)性

2μm-3um

測量精度

XY≦(2.5+L/300)um，L表示測量的長度，相除的數(shù)字越大儀器精度越高。

外形尺寸（mm)

1500*1200*1600

儀器重量(kg)

1200 kg

照明

可程控LED表面光及直軸輪廓冷光源（選配同軸冷光源）,亮度可調(diào)

電源

110V-220V±10%  50/60Hz   電流大于10A

量測系統(tǒng)

2D-CNC