測(cè)量范圍

X

300mm

Y

200mm

Z

150mm

含激光點(diǎn)尋位上燈，自動(dòng)對(duì)焦

玻璃臺(tái)面

350mm*250mm

承重

50kg

CCD

美國(guó)康斯特350萬像素 800TV線工業(yè)高清晰彩色CCD

變焦物鏡

美國(guó)MVTA 連續(xù)變倍變焦鏡頭0.7－4.5X(選配同軸光)，無需校正

視頻放大分倍率

影像倍數(shù)30X－200X

工作距離

95mm

顯示分辨率

0.0001mm

日本運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)：全閉環(huán)控制：三軸伺服馬達(dá)全閉環(huán)控制

光柵尺

高精密封閉光柵尺 分辨率： 0.005mm

重復(fù)性

2μm-3um

測(cè)量精度

XY≦(2.5+L/300)um，L表示測(cè)量的長(zhǎng)度，相除的數(shù)字越大儀器精度越高。

外形尺寸（mm)

1500*1200*1600

儀器重量(kg)

1200 kg

照明

可程控LED表面光及直軸輪廓冷光源（選配同軸冷光源）,亮度可調(diào)

電源

110V-220V±10%  50/60Hz   電流大于10A