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詳細介紹
精密熱板，高精度烤膠機簡介：
精密熱板用于固化光刻膠，固化環(huán)氧塑脂，可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場合等。在電子、化工等行業(yè)的工礦企業(yè)、科研、教育等單位，進行熱老化、溫度試驗及干燥、烘焙、消毒和熱處理等試驗中常見。主要應用于科研實驗，用于直徑φ150mm晶圓或¨150mm方片的烘烤工藝，手動上下料、自動烘烤作業(yè)。
精密熱板，高精度烤膠機技術參數：
溫度加熱范圍： 50℃-200℃；
表面溫度均勻性：
50 ~ 120℃ R≤±0.5℃
121 ~ 150℃ R≤±0.75℃
151 ~ 200℃ R≤±1.0℃；
適用基片尺寸： 4、6寸晶圓及小于150mm方片 ；
溫度控制器：P.I.D溫度控制，高亮度4位數字LED顯示溫度 ；
控溫精度： 0.1℃；
配置定時器，可編程定時控制
配置真空端口，可使基片和熱板緊密接觸 ；
惰性氣體：可充氮氣控制
電源：220V,50/60Hz；；
外形尺寸：350×350×530mm。
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