詳細(xì)介紹
該設(shè)備實(shí)在簡(jiǎn)易型近空間升華爐的基礎(chǔ)上改進(jìn)而來(lái),溫區(qū)更長(zhǎng),管徑更大,對(duì)開(kāi)式結(jié)構(gòu)溫場(chǎng)對(duì)稱(chēng)性更好,散熱更快。源坩堝和襯底總成分別放置在兩個(gè)石英托架內(nèi),放置在爐膛內(nèi)部的石英管軌道上。
1. 爐膛開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)分為左右兩個(gè)獨(dú)立單元,上下兩排燈管分別獨(dú)立控溫,加熱結(jié)束后爐膛均可通過(guò)按鈕控制或自動(dòng)分開(kāi)成兩半,管子暴露在室溫環(huán)境下,底部?jī)蓚€(gè)風(fēng)扇強(qiáng)制風(fēng)冷對(duì)其散熱。
2. 主爐體下方分為兩個(gè)區(qū)域,分別為電器控制部分和真空部分。電器控制部分內(nèi)有溫控電路和機(jī)械動(dòng)作控制器等。真空部分包含一臺(tái)直聯(lián)旋片式機(jī)械真空泵、數(shù)顯真空計(jì)和正壓保護(hù)電路。
3. 石英管固定通過(guò)兩端法蘭上的支撐固定架與爐體螺栓固定連接,保證管子和法蘭位置始終不變。
| 爐膛模式: | 前后移動(dòng)開(kāi)啟式爐膛 |
| 顯示模式: | 7英寸觸摸屏 |
| 加熱元件: | 短紅外波燈管,上下水平面獨(dú)立加熱 |
| 工作溫度: | ≤800℃ |
| 升溫速率: | 10℃/s |
| 樣品移動(dòng): | 無(wú) |
| 溫區(qū)長(zhǎng)度: | 300mm(恒溫區(qū)100*100mm) |
| 溫度均勻性: | ≤±3℃ |
| 爐管規(guī)格: | Φ150*700mm |
| 控溫精度: | ±1℃ |
| 密封方式: | 快速法蘭密封 |
| 儀表補(bǔ)償: | 室溫自動(dòng)補(bǔ)償 |
| 溫度曲線(xiàn): | 10段"時(shí)間—溫度曲線(xiàn)"任意可設(shè),預(yù)存100條工藝曲線(xiàn) |
| 外殼溫度: | ≤50℃(室溫≤25℃) |
| 超溫報(bào)警: | 有 |
| 過(guò)流保護(hù): | 有 |
| 斷偶提示: | 有 |
| 測(cè)溫元件: | K型鎧裝熱電偶 |
| 爐膛材料: | 氧化鋁纖維 |
| 外形尺寸: | 1100*800*1300MM |
| 整機(jī)功率: | 20kw |
| 電源參數(shù): | 220V 50Hz |
| 真空與氣氛: | |
| 抽真空能力: | 大氣到≤5Pa小于5min |
| 氣壓范圍: | 10-3Pa~105Pa,機(jī)械泵極限≤5Pa |
| 泄漏率: | ≤5-4(Pa*m3/s) |
| 真空計(jì)范圍: | 大氣到10-4Pa,分辨率0.01Pa |
| 氣路系統(tǒng): | |
| 1路進(jìn)氣口,內(nèi)有管道布?xì)狻#?/td> | |
| 超壓保護(hù)(≥1atm),根據(jù)設(shè)定壓力值自動(dòng)排氣: | |
| 其它功能: | |
| 溫度數(shù)據(jù)存儲(chǔ): | 可存儲(chǔ)大于3個(gè)月的數(shù)據(jù) |
| 數(shù)據(jù)導(dǎo)出: | U盤(pán)導(dǎo)出excel或csv格式 |
| 工藝曲線(xiàn): | 觸摸屏可顯示設(shè)定曲線(xiàn)預(yù)覽 |
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