當前位置：成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司>>微波等離子體化學(xué)氣相沉積（MPCVD）設(shè)備>> HMPS-2120SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)
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更新時間：2023-11-09 10:54:06瀏覽次數(shù)：306次
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HMPS-2060SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)
HMPS-2120SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)
◆微波功率容量大、功率密度高；
◆沉積面積大、速率快、質(zhì)量高；
◆安全可靠，滿足單晶、多晶金剛石產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)運行；
◆第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源，新型下饋式大容積碟形放電工作腔；
◆微波功率0.5~12kW連續(xù)可調(diào)，穩(wěn)定度1%；
◆放電區(qū)Φ≥100mm；均勻沉積區(qū)Φ≥75mm；
◆工作氣體：H2/CH4/N2/CO2或O2或Ar；
◆極限真空度：6×10-4Pa；真空漏率：10-9Pa·m3/s；
◆工作壓力：0.1~30kPa；自動控制；
◆紅外測溫：600~1800℃（雙色）；
◆PLC和15寸觸摸屏多參數(shù)自動控制。
| （1） | 產(chǎn)品 | HMPS-2120SP |
| （2） | 微波源 | 12kW/2450MHz固態(tài)功率源 |
| （3） | 微波傳輸及耦合系統(tǒng) | BJ-22/環(huán)行器/水負載/銷釘/模式變換器耦合等 |
| （4） | 等離子放電工作腔及基片臺系統(tǒng) | Φ500同軸耦合蝶形腔，Φ100mm基片臺 |
| (5) | 真空系統(tǒng) | 600l/s分子泵、8l/s雙級直聯(lián)泵、進口真空測量規(guī)管 |
| (6) | 氣體MFC系統(tǒng) | 進口4(5)路質(zhì)量流量計，過濾器、EP-1/4’VCR接頭及管 |
| （7） | 測溫及基片臺冷卻 | 進口(雙色)紅外測溫，進口水溫度流量傳感器 |
| （8） | 控制系統(tǒng) | PLC及觸摸屏多參數(shù)自動控制操作 |
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