預壓型高精度氣浮直線電機平臺

產品主要特征：

●天然花崗巖基座，平面度

●氣浮導軌，無摩擦力、超高平面度

●直驅機構，無回程間隙

●全閉環(huán)反饋，分辨率高達5nm

●預壓型機構，保證足夠的系統(tǒng)剛性

●表面經過噴砂以及陽極氧化處理，美觀又經久耐用

RX160-X系列氣浮平臺是我司設計的氣浮直線電機產品，該系列產品采用天然花崗巖做基座，氣浮導軌導向及支撐，具有非常優(yōu)秀的平面度、直線度，結合高精度線性放大器可以達到非常理想的重復定位精度及定位精度。

主要性能參數(shù)：

*也可選用數(shù)字量光柵，詳詢廠家

**普通PWM驅動器默認值為5%上限，如需要低于1%速度波動，需要線性驅動器

**平臺速度取決于有效行程、光柵分辨率以及光柵和驅動器的時鐘頻率，不同配置會導致此項參數(shù)上限值的變化，詳詢廠家

***此數(shù)據(jù)為實驗室實測數(shù)據(jù)上限，如有更高要求，需搭配AOZ-MCS系列控制器，詳詢廠家

****此數(shù)據(jù)為標定后參數(shù)

RX160-X外形尺寸圖

*實際尺寸會根據(jù)客戶所需的行程來確定

**如需要進一步的尺寸信息或者3D圖檔，請直接聯(lián)系廠家

產品型號命名規(guī)則：

RX160 - X - ER 5 C15

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1RX160為產品系列，ABX為直線電機平臺的英文縮寫，160代表著平臺滑塊部分的寬度

2X代表著該型號產品的有效行程，單位mm，該系列從100-500mm行程中可根據(jù)要求任意定制，如需其它行程，可聯(lián)系廠家溝通定制

3ER代表編碼器的類型，所有直線電機產品默認采用直線開放式光柵

45代表該型號產品光柵的分辨率，單位nm，默認產品分辨率為5nm，為模擬量光柵4096細分后所得，分辨率的改變會導致平臺速度以及重復定位精度的變化，詳細情況請進一步咨詢廠家

5C15代表設備出線長度為1.5m，單位m，默認產品出線長度1.5m，可選0.5m/1m/3m/5m等，寫作05/10/30/50，出線長度會因產品型號不同存在誤差，如設備對出線長度要求較高，請聯(lián)系廠家進一步溝通

特別注意事項：

1、直線電機平臺屬于高精度精密設備，因此如果希望得到性能，需要保證足夠的使用環(huán)境，尤其在使用要求重復定位精度小于1um的設備上，所有指標的復現(xiàn)都需要滿足一定的溫度、濕度、氣壓、振動等，詳細要求可進一步聯(lián)系廠家咨詢溝通

3、氣浮平臺需搭配空壓機、儲氣罐、冷干機、油水分離器、過濾器、干燥器、調壓閥等輔助配件，詳細規(guī)格請咨詢廠家