日本富士科技 EBV-1NW25 電磁真空閥日本富士科技 EBV-1NW25 電磁真空閥

設(shè)備基礎(chǔ)規(guī)格

• 型號(hào)：EBV-1NW25

• 口徑：Φ25mm

• 動(dòng)作方式：真空先導(dǎo)方式，彈簧復(fù)位

• 開放電導(dǎo)：1.3×10 L/s

• 泄漏量：1×10?? Pa?m3/s 以下（閥體本體）

• 使用壓力范圍：大氣壓～10?? Pa

• 閥體材質(zhì)：SUS304

• 密封件：丁腈 O 型圈

• 軸密封：丁腈 O 型圈

• 額定電壓：AC100V、AC200V、DC24V 可選

• 消耗電力：4W

• 接口形式：NW25 快裝法蘭

• 外形尺寸：總長(zhǎng) 188.5mm

核心產(chǎn)品特性 

富士科技 EBV-1NW25 電磁真空閥采用真空先導(dǎo)驅(qū)動(dòng)搭配彈簧復(fù)位結(jié)構(gòu)，響應(yīng)穩(wěn)定可靠，斷電狀態(tài)下可依靠彈簧完成復(fù)位動(dòng)作，保障真空管路安全。閥體整體選用 SUS304 不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕，適配多數(shù)真空工藝氣體環(huán)境，密封組件采用丁腈 O 型圈，本體泄漏量控制在 1×10??Pa?m3/s 以內(nèi)，滿足高真空工況的密封需求。閥門采用 NW25 快卡法蘭連接，拆裝便捷，便于真空管路快速裝配維護(hù)。設(shè)備功耗僅 4W，運(yùn)行能耗低，支持多種電壓規(guī)格選型，適配不同設(shè)備電控系統(tǒng)。閥門導(dǎo)通性能良好，開放電導(dǎo)參數(shù)優(yōu)異，氣體流通阻力小，不會(huì)對(duì)真空抽速造成明顯損耗。閥結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，可直接集成在真空腔體、真空泵管路之間。配套可選過(guò)濾器配件，阻擋管路內(nèi)雜質(zhì)進(jìn)入閥體內(nèi)，延長(zhǎng)閥門使用壽命，降低維護(hù)頻次。該閥可長(zhǎng)期穩(wěn)定工作在大氣壓至 10??Pa 的寬真空區(qū)間，適用于間歇通斷控制，開關(guān)動(dòng)作重復(fù)性好，適合自動(dòng)化真空系統(tǒng)的時(shí)序控制。

適用場(chǎng)景 

廣泛用于半導(dǎo)體真空設(shè)備、真空鍍膜機(jī)、真空熱處理設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室高真空實(shí)驗(yàn)裝置、真空泵機(jī)組管路通斷控制，也可應(yīng)用于分析儀器、真空干燥等工藝，實(shí)現(xiàn)真空管路的自動(dòng)通斷切換，穩(wěn)定維持腔體真空環(huán)境，滿足各類高真空制程的自動(dòng)化控制需求。