日本富士 MBV-ISO80SDII-M4-ARJ 真空蝶閥日本富士 MBV-ISO80SDII-M4-ARJ 真空蝶閥

設(shè)備基礎(chǔ)規(guī)格

• 型號(hào)：MBV-ISO80SDII-M4-ARJ

• 驅(qū)動(dòng)方式：電機(jī)驅(qū)動(dòng)

• 適用工況：高真空環(huán)境

• 接口規(guī)格：ISO80 法蘭

• 閥體材質(zhì)：不銹鋼

• 密封形式：真空專用密封件

核心產(chǎn)品特性這款日本富士電機(jī)驅(qū)動(dòng)真空蝶閥依靠電機(jī)實(shí)現(xiàn)蝶板開度連續(xù)調(diào)節(jié)，可拓展多樣化自動(dòng)控制功能，適配真空工藝的精密調(diào)控需求。閥體結(jié)構(gòu)緊湊，法蘭接口類型豐富，安裝適配性強(qiáng)，設(shè)備自帶穩(wěn)定的密封結(jié)構(gòu)，泄漏指標(biāo)滿足高真空環(huán)境使用，長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行穩(wěn)定性好，維護(hù)工作量低，適配各類真空設(shè)備自動(dòng)化管路配套。閥門響應(yīng)平穩(wěn)，開度控制精度高，可穩(wěn)定維持腔體內(nèi)部壓力，減少壓力波動(dòng)對(duì)工藝造成的影響?？估匣芊饧?，在反復(fù)啟閉工況下依舊保持良好密封效果，減少停機(jī)檢修頻次。標(biāo)準(zhǔn)化法蘭接口，可直接對(duì)接主流真空管路，簡(jiǎn)化現(xiàn)場(chǎng)安裝調(diào)試工作，支持配套控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程信號(hào)采集與自動(dòng)調(diào)控，適配自動(dòng)化產(chǎn)線集成使用。

適用場(chǎng)景廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝、真空鍍膜、材料熱處理、科研真空實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域，用于真空腔體壓力恒定控制、管路氣流調(diào)節(jié)、排氣流量管控，是真空工藝系統(tǒng)內(nèi)精密壓力調(diào)節(jié)的專用閥門設(shè)備。