日本 TANAKA TORR-L 半導(dǎo)體氣體壓力調(diào)節(jié)器日本 TANAKA TORR-L 半導(dǎo)體氣體壓力調(diào)節(jié)器

設(shè)備基礎(chǔ)規(guī)格

• 接氣主體材質(zhì)：SUS316，膜片 SUS316L

• 入口高使用壓力：1.5MPa

• 出口高使用壓力：0.06MPa

• 大流量：40L/min (nor)

• 使用溫度范圍：-5~40℃

• 整機重量：5.2kg

• 出入口端口口徑：3/8 英寸

• 外部泄漏量：1.3×10??Pa?m3/sec 以下

  核心產(chǎn)品特性

  TORR-L 系列是擁有長期應(yīng)用實績的半導(dǎo)體氣體壓力調(diào)節(jié)器，在行業(yè)內(nèi)認可度高，產(chǎn)品全部在 0.3μm 等級 1000 級潔凈車間完成組裝，從源頭降低粉塵污染，滿足半導(dǎo)體工藝對潔凈度的嚴苛要求。每臺設(shè)備出廠前均執(zhí)行包含氦氣檢漏在內(nèi)的全套出貨檢驗，保障產(chǎn)品密封性，杜絕氣體泄漏風(fēng)險。閥體接觸氣體金屬部件可做電解研磨加工，表面粗糙度可達 Ra0.25μm，降低氣體吸附，適配各類高純工藝氣體。該型號主打二次側(cè)微壓穩(wěn)定控制，調(diào)壓手感平順，壓力輸出波動小，能夠在流量變化時維持下游壓力穩(wěn)定。支持定制化選型，可根據(jù)客戶使用氣體、進出口壓力、流量需求以及接頭規(guī)格單獨設(shè)計制作，提供 NPT、VCR、Swagelok 等多種接口方案。調(diào)壓手柄操作便捷，搭配壓力表實時直觀讀取壓力數(shù)值，結(jié)構(gòu)耐用，長期連續(xù)工況下依然保持穩(wěn)定調(diào)壓性能，適配精密半導(dǎo)體產(chǎn)線的連續(xù)運行需求。

  適用場景

  適用于半導(dǎo)體晶圓制造、光伏、電子元器件生產(chǎn)等高純工藝供氣系統(tǒng)，用于工藝氮氣、特種高純氣體管路的壓力調(diào)節(jié)與穩(wěn)壓控制，也可用于實驗室精密氣體供給、分析儀器氣體回路微壓控制，滿足潔凈工藝環(huán)境下對氣體壓力高精度、高密封性的使用需求。