日本 Napson EC-80P 非接觸式電阻率測(cè)試儀日本 Napson EC-80P 非接觸式電阻率測(cè)試儀

設(shè)備基礎(chǔ)規(guī)格

• 電阻率測(cè)量范圍：1m ~ 200Ω?cm

• 方阻測(cè)量范圍：10m ~ 3000Ω/sq

• 探頭分類(lèi)：低、中、高、S 高、太陽(yáng)能晶圓 5 種規(guī)格探頭可選

• 樣品要求：直徑大于 20mm，測(cè)量平面平整，不限外形

• 主機(jī)尺寸：寬 255 × 深 275 × 高 95mm，重量 4kg

• 探頭尺寸：直徑 20mm × 長(zhǎng)度 80mm

• 操作方式：JOG 旋鈕設(shè)置測(cè)量條件，單點(diǎn)自動(dòng)測(cè)量

• 核心產(chǎn)品特性EC-80P 采用非接觸式渦流檢測(cè)原理，實(shí)現(xiàn)無(wú)損檢測(cè)，不會(huì)在樣品表面留下劃痕或損傷，適合高價(jià)值半導(dǎo)體外延片、薄膜材料檢測(cè)。設(shè)備內(nèi)置 3 種測(cè)量模式，可分別測(cè)定晶圓電阻率、體電阻率、面電阻率，適配不同材料檢測(cè)需求。探頭接觸樣品瞬間自動(dòng)觸發(fā)測(cè)量，簡(jiǎn)化操作流程，依靠 JOG 旋鈕快速切換與設(shè)置測(cè)量參數(shù)，上手門(mén)檻低。配備 5 款可替換探頭，分別對(duì)應(yīng)低、中、高、超高阻以及太陽(yáng)能電池專(zhuān)用測(cè)量區(qū)間，用戶可根據(jù)待測(cè)樣品導(dǎo)電特性自由更換探頭，拓寬整機(jī)適用范圍。整機(jī)為臺(tái)式便攜一體化設(shè)計(jì)，自帶可翻轉(zhuǎn)提手，便于在實(shí)驗(yàn)室、產(chǎn)線工位之間移動(dòng)。設(shè)備支持單點(diǎn)測(cè)量，樣品形狀無(wú)強(qiáng)制限制，僅需保證待測(cè)區(qū)域平整且直徑大于 20 毫米，片狀、圓形樣品均可檢測(cè)。可用于導(dǎo)電薄膜、化合物半導(dǎo)體、新型碳材料的來(lái)料檢驗(yàn)與工藝管控，實(shí)時(shí)監(jiān)控鍍膜、外延生長(zhǎng)工藝穩(wěn)定性，及時(shí)發(fā)現(xiàn)材料電阻率異常。

• 適用場(chǎng)景適用于半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室、光伏電池產(chǎn)線、新材料研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，用于硅片、碳化硅、GaAs、GaN 外延片、ITO 導(dǎo)電膜、石墨烯、碳納米管等材料的電阻率、方阻無(wú)損檢測(cè)，完成來(lái)料檢驗(yàn)、工藝穩(wěn)定性監(jiān)控與研發(fā)樣品測(cè)試。