日本 FUJISEIKI 富士精工 真空壓力控制器 日本 FUJISEIKI 富士精工 真空壓力控制器

1. 產(chǎn)品性能

FPC-181S 為雙模式真空壓力控制器，具備 APC 自動壓力控制模式與 MPA 位置控制模式。APC 模式下讀取真空計信號，通過 PID 算法高速驅(qū)動閥門，實現(xiàn)真空壓力穩(wěn)定閉環(huán)控制；MPA 模式接收外部模擬量信號，線性控制閥門開閉。設(shè)備分辨率為傳感器滿量程 0.1%，支持 PC 遠程設(shè)置與多段位置控制，伺服系統(tǒng)故障時輸出報警信號，產(chǎn)品符合 RoHS 環(huán)保標準。

2. 參數(shù)表

表格

3. 型號說明

FPC-181S 是 FUJISEIKI 富士精工 APC Dual Controller 系列標準真空壓力控制器，雙模式設(shè)計，可搭配本公司真空伺服蝶閥組成整套真空壓力控制系統(tǒng)。

4. 用途

用于半導(dǎo)體、鍍膜、真空熱處理、實驗室真空設(shè)備等場景，實現(xiàn)真空腔體內(nèi)壓力自動閉環(huán)調(diào)節(jié)；真空工藝、薄膜沉積、真空燒結(jié)、科研實驗等需要精準穩(wěn)定真空壓力控制的工況。

5. 使用說明

1. 接線：接入 DC24V 電源，連接真空計、伺服閥門、遠程信號接口；

2. 模式選擇：根據(jù)工藝需求切換 APC 壓力控制模式或 MPA 位置控制模式；

3. 參數(shù)設(shè)定：在面板或 PC 端設(shè)置目標壓力、PID 參數(shù)、閥門位置點位；

4. 運行：啟動系統(tǒng)，控制器采集壓力信號，自動調(diào)節(jié)閥門開度；

5. 維護：定期檢查接線，報警燈亮起時停機排查伺服、線路故障；可選 UPS 電源應(yīng)對突發(fā)停電。