日本 Excel Precision 激光干涉儀激光光源 日本 Excel Precision 激光干涉儀激光光源

1. 產(chǎn)品性能

1001D 屬于塞曼效應(yīng)雙頻氦氖激光系統(tǒng)，利用縱向磁場分裂氖原子能級產(chǎn)生雙頻激光，頻率穩(wěn)定性 2×10??，預(yù)熱完成后指向穩(wěn)定性＜0.1×10?3 弧度。差分方波信號輸出，測量速度 1.0m/s，可支持 6 軸同步干涉測量，適配高精度位移檢測，測量重復(fù)性好。激光輸出功率 0.2~1mW，標(biāo)準(zhǔn)光束直徑 6mm，可選 3mm/9mm 光束。

2. 參數(shù)表

表格

3. 型號說明

Excel 1001 系列包含 1001A/1001B/1001C/1001D/1001F、1101A。1001A/1001C/1001D/1001F 外形尺寸一致；1001D 為該系列測速型號，速度 1.0m/s；1001C  0.8m/s，其余型號 0.6m/s。可按需定制機(jī)械變型。

4. 用途

作為激光干涉儀核心光源，應(yīng)用于晶圓 / FPD 步進(jìn)機(jī)、電子束設(shè)備、IC 檢測設(shè)備、后端步進(jìn)機(jī)、超精密機(jī)床、各類精密位移測量設(shè)備，半導(dǎo)體光刻、精密加工、高精度定位檢測領(lǐng)域。

5. 使用說明

1. 供電：接入 15V 直流電源，上電預(yù)熱，等待激光 READY 指示燈穩(wěn)定，完成預(yù)熱保證指向穩(wěn)定。

2. 光路：安裝固定激光頭，搭配 Excel 干涉光學(xué)組件，校準(zhǔn)光束光路。

3. 信號：參考信號、激光輸出信號接入干涉儀接收系統(tǒng)，最多擴(kuò)展 6 軸測量。

4. 安全：設(shè)備發(fā)射激光輻射，禁止直視出光口；設(shè)備符合 21CFR 激光安全規(guī)范。

5. 維護(hù)：可選帶排氣孔版本，注意散熱；禁止拆解激光腔體。

6. 適用行業(yè)

半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)檢測、超精密數(shù)控機(jī)床、FPD 平板顯示、計量檢測實驗室。