日本 AYUMI ML?03M 超高真空全金屬角閥日本 AYUMI ML?03M 超高真空全金屬角閥

設(shè)備基礎(chǔ)規(guī)格

• 型號：ML?03M

• 使用壓力：大氣壓至 10 的負 8Pa 以下

• 使用溫度范圍：0?300℃

• 泄漏量：6.7×10 的負 11Pa?m3/sec 以下

• 全開電導(dǎo)率：8.5L/sec

• 密封扭矩：5?7N?m

• 連接法蘭：ICF34

• 主體材質(zhì)：SUS304

• 密封材料：OFC 無氧銅

• 波紋管材質(zhì)：SUS304 成型波紋管

ML?03M 屬于全金屬結(jié)構(gòu)的超高真空角閥，密封部位采用銅墊片密封邊緣結(jié)構(gòu)，所需緊固扭矩偏小，現(xiàn)場裝配操作更加便捷。設(shè)備支持 350 攝氏度烘烤處理，滿足真空腔體除氣工藝需求，可穩(wěn)定運行在 10 的負 8Pa 以下超高真空環(huán)境。閥門磁盤支持更換，后期維護可以單獨更換密封磁盤，無需整體更換閥體，降低設(shè)備使用成本。閥體本體與波紋管均采用 SUS304 不銹鋼，密封件選用 OFC 無氧銅，整體材質(zhì)適配真空環(huán)境，出氣量低。閥門采用 ICF34 標準法蘭，能夠直接對接同規(guī)格真空管路，全開狀態(tài)電導(dǎo)率可以達到 8.5L 每秒，保障管路氣體流通效率。密封扭矩控制在 5 至 7 牛米，操作人員使用扭矩扳手即可完成規(guī)范安裝，降低安裝失誤帶來的漏率風(fēng)險。整體結(jié)構(gòu)緊湊，占用設(shè)備空間小，適配各類超高真空系統(tǒng)的管路通斷控制，金屬密封結(jié)構(gòu)不存在橡膠密封件老化問題，適合長期高溫工況下持續(xù)工作。

適用場景：半導(dǎo)體真空腔體管路控制；科研實驗室超高真空設(shè)備；鍍膜設(shè)備真空管路；各類需要高溫烘烤的真空系統(tǒng)；工業(yè)超高真空裝置通斷管控。