干式螺桿真空泵/羅茨真空泵/分子泵
用途概述
干式螺桿真空泵、羅茨真空泵、分子泵憑借其創(chuàng)新設(shè)計與性能，成為半導(dǎo)體、制藥、石化、化工等高要求行業(yè)的理想選擇。針對復(fù)雜真空工藝需求，該系列通過提供清潔無油的真空環(huán)境，適配腐蝕性氣體、可凝性蒸氣及含粉塵顆粒氣體的抽除場景，助力企業(yè)及科研實驗實現(xiàn)高效生產(chǎn)與環(huán)保目標(biāo)。其廣泛適用于真空釬焊、鍍膜、退火、干燥等關(guān)鍵工藝，并在航空航天、電子、冶金、醫(yī)藥等領(lǐng)域推動技術(shù)升級，逐步替代傳統(tǒng)油封機(jī)械泵與液環(huán)泵，成為綠色智能制造的核心裝備，支持單機(jī)或多泵組合（如螺桿羅茨泵聯(lián)動）構(gòu)建干式真空泵機(jī)組。
產(chǎn)品特點
技術(shù)特點
※水冷循環(huán)散熱技術(shù)，可消除風(fēng)扇高速運轉(zhuǎn)引發(fā)的空氣擾動揚塵問題；
※工作腔內(nèi)無潤滑油，杜絕油氣污染，確保真空環(huán)境純凈度，顯著提升產(chǎn)品良率；
※工藝氣體回收利用率高，尾氣處理更便捷，助力企業(yè)降低環(huán)保成本，符合嚴(yán)苛排放標(biāo)準(zhǔn)；
智能操控
※泵腔及轉(zhuǎn)子表面可選配多種防腐涂層，耐受強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等惡劣介質(zhì)，使用壽命延長；
※多級螺旋轉(zhuǎn)子設(shè)計精準(zhǔn)適配腐蝕性氣體、可凝性蒸氣及含微粒粉塵的復(fù)雜氣體環(huán)境；
※間隙密封結(jié)構(gòu)對微小顆粒不敏感，直通式泵腔設(shè)計避免粉塵沉積，保障連續(xù)穩(wěn)定運行；
高效節(jié)能
※優(yōu)化轉(zhuǎn)子平衡技術(shù)與多層減震結(jié)構(gòu)設(shè)計，實現(xiàn)超低振動與低噪運行；
※工作溫度低，有效較少冷卻水的消耗，契合綠色工廠低碳目標(biāo)，運行噪聲低；
※螺桿嚙合傳動效率優(yōu)化，能耗較傳統(tǒng)泵有效降低，搭配智能變頻配置進(jìn)一步節(jié)能；
羅茨真空
※羅茨真空泵適用于蒸餾蒸發(fā)、冷凍干燥等含大量水蒸氣的復(fù)雜工況；
※當(dāng)作為前級泵時，可高效抽除水蒸氣混合氣體，保障生產(chǎn)流程的連續(xù)性與穩(wěn)定性；
※工作壓力范圍寬，可從大氣壓平滑過渡至高真空狀態(tài)，靈活適配多行業(yè)多階段工藝需求
可選配置
①氮氣吹掃：針對少量粉塵環(huán)境優(yōu)化，通過特殊密封結(jié)構(gòu)及氮氣吹掃裝置，可耐受生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的細(xì)微顆粒（如硅粉、石墨粉塵），避免堵塞或磨損，顯著延長設(shè)備壽命，減少維護(hù)頻率，降低停機(jī)損失，為生產(chǎn)研發(fā)的連續(xù)性提供堅實保障。
②PLC控制：可實時監(jiān)測真空度、壓力及生產(chǎn)負(fù)載變化，動態(tài)調(diào)節(jié)泵組轉(zhuǎn)速與功率輸出。
設(shè)備啟動迅速，可按需供能，既能避免過度抽氣造成的能源浪費，又能為高敏感工藝營造穩(wěn)定真空環(huán)境，如在單晶硅拉制過程中，持續(xù)提供恒定低壓條件，確保晶體生長品質(zhì)。
③噪音控制：若工藝環(huán)境對噪音敏感（如實驗室、精密車間等），可加裝消音器；
④鈑金外殼：提供防護(hù)（防塵、防濺）、提升設(shè)備整體美觀度及結(jié)構(gòu)強(qiáng)度；
技術(shù)參數(shù)