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生產(chǎn)廠(chǎng)家
1
上海市
2026/9/17 10:48:48
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
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真空分子泵
特點(diǎn)
復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合，集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體。泵在很寬的壓力范圍內(nèi)((10-6～1Pa)具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。
復(fù)合式分子泵的形式很多，按結(jié)構(gòu)分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤(pán)式牽引泵的串聯(lián)組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級(jí)主要用來(lái)提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的葉片形狀，級(jí)數(shù)在l0級(jí)以?xún)?nèi)。牽引級(jí)主要用來(lái)增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。
盤(pán)式牽引級(jí)是在平板圓盤(pán)平面上按一定規(guī)律開(kāi)出數(shù)條型線(xiàn)溝槽，然后將數(shù)塊圓盤(pán)串接起來(lái)構(gòu)成，型線(xiàn)有阿基米德螺線(xiàn)、對(duì)數(shù)螺線(xiàn)、圓弧線(xiàn)等。抽氣時(shí)靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的圓盤(pán)對(duì)氣體分子進(jìn)行“拖動(dòng)”，使其沿溝槽作由內(nèi)向外及由外向內(nèi)的往復(fù)折回的定向流動(dòng)，從而達(dá)到抽氣目的。
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