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無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司(無錫冠亞智能裝備)是一家集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的裝備制造企業(yè),專業(yè)生產(chǎn)研發(fā)制冷加熱控溫系統(tǒng)、超低溫冷凍機、半導體控溫Chiller、新能源用控溫控流量系統(tǒng)等專用設備,廣泛應用于醫(yī)藥化工、半導體、新能源、航空航天等領域。
查看更多| 參考價 | 面議 |
產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品大小 | 小型 |
| 產(chǎn)品新舊 | 全新 | 結(jié)構(gòu)類型 | 密封式,立式 |
| 結(jié)構(gòu)類型 | 密封式,立式 | 溫度 | 低溫冷水機 |

| 卡盤定制系統(tǒng) | |||||||
| 卡盤類型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 溫度范圍 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller電源 | 380 VAC ± 10%,三相(可定制) | ||||||
| Chiller總功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控溫模組 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 溫度均勻性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加熱能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面處理 | 鍍鎳/鍍金 | ||||||
| 控溫方式 | 內(nèi)置多個溫度傳感器,多區(qū)控溫,精確PID調(diào)節(jié)控溫 | ||||||
| 如有其他需求,可非標定制 | |||||||


三溫Chuck探針臺卡盤是半導體測試領域的溫控承載設備,主要用于探針臺系統(tǒng)中固定晶圓并提供低溫、常溫、高溫三段式準確溫度控制,適配半導體芯片三溫測試需求,是保障芯片性能評估準確性的關鍵部件。
該設備通過真空吸附技術(shù)穩(wěn)固固定晶圓,搭載獨立溫控模塊實現(xiàn)三個溫區(qū)的分區(qū)調(diào)控,配合高精度溫度傳感器與閉環(huán)控制技術(shù),可準確模擬芯片實際工作溫度環(huán)境。無錫冠亞恒溫Chuck探針臺卡盤控溫范圍達-65℃~200℃,控溫精度±0.5℃,溫場均勻性良好,確保晶圓表面溫差小,避免測試數(shù)據(jù)失真。
廣泛應用于8/12英寸晶圓電學測試、車規(guī)級芯片可靠性評估、功率器件建模測試等場景。無錫冠亞恒溫產(chǎn)品具備以下特點:
1. 分區(qū)溫控設計,支持多溫區(qū)協(xié)同工作,適配復雜測試需求
2. 優(yōu)化式真空吸附結(jié)構(gòu),吸附力均勻穩(wěn)定,避免晶圓損傷
3. 兼容多種規(guī)格晶圓,無需更換配件即可快速切換測試需求
4. 運行數(shù)據(jù)可記錄導出,便于測試過程追溯與分析
作為專業(yè)三溫Chuck探針臺卡盤廠家,無錫冠亞恒溫憑借成熟溫控技術(shù),為半導體測試提供穩(wěn)定可靠的溫度控制解決方案,助力提升芯片測試效率與數(shù)據(jù)準確性。

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