| 卡盤定制系統(tǒng) | |||||||
| 卡盤類型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 溫度范圍 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller電源 | 380 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| Chiller總功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控溫模組 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 溫度均勻性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加熱能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面處理 | 鍍鎳/鍍金 | ||||||
| 控溫方式 | 內(nèi)置多個(gè)溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確PID調(diào)節(jié)控溫 | ||||||
| 如有其他需求，可非標(biāo)定制 | |||||||
氣冷型高低溫卡盤系統(tǒng)-電子行業(yè)精密控溫chiller
氣冷型高低溫卡盤系統(tǒng)是無錫冠亞恒溫推出的一款精密溫控設(shè)備，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子等行業(yè)的晶圓及器件測試場景，通過空氣制冷與電加熱結(jié)合的方式，實(shí)現(xiàn)對(duì)被測工件的準(zhǔn)確溫度控制與真空吸附定位。氣冷型高低溫卡盤系統(tǒng)-電子精密控溫chiller
氣冷型高低溫卡盤系統(tǒng)功能與技術(shù)特點(diǎn)
該系統(tǒng)作為探針臺(tái)配套部件，具備以下特點(diǎn)：
· 采用空氣制冷技術(shù)，無需液體冷媒或帕爾貼元件，運(yùn)行安靜且維護(hù)便捷，規(guī)避泄漏風(fēng)險(xiǎn)
· 溫度控制范圍覆蓋-65℃~+200℃（可定制），滿足各類變溫測試需求
· 內(nèi)置多區(qū)溫度傳感器，支持高精度FID調(diào)節(jié)控溫，確保溫度均勻性與穩(wěn)定性
· 提供8寸、12寸標(biāo)準(zhǔn)卡盤及非標(biāo)定制，適配不同尺寸晶圓與測試需求
· 兼容真空吸附功能，保障測試過程中工件定位準(zhǔn)確，提升數(shù)據(jù)一致性
氣冷型高低溫卡盤系統(tǒng)chiller應(yīng)用場景與價(jià)值
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓變溫電學(xué)測試、功率器件建模、可靠性評(píng)估、射頻變溫測試等領(lǐng)域，尤其適合低噪音、高絕緣性要求的測試環(huán)境。無錫冠亞恒溫憑借多年溫控技術(shù)積累，該系統(tǒng)可與探針臺(tái)、ATE自動(dòng)測試設(shè)備無縫集成，為用戶提供穩(wěn)定可靠的溫控解決方案，助力提升測試效率與數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。氣冷型高低溫卡盤系統(tǒng)-電子精密控溫chiller
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