產(chǎn)品簡介
極其精確和可靠的定位。用于在高負載時進行平穩(wěn)饋通的交叉滾柱導軌。應力消除鋁基座可實現(xiàn)高穩(wěn)定性。帶直流電機和兩相步進電機的驅(qū)動器變型。非接觸式限位開關(guān)。
電機軸上帶集成式旋轉(zhuǎn)編碼器（帶直流電機的變型）。
集成線性編碼器。運動平臺的直接位置測量，動力傳動系統(tǒng)中的機械游隙或滯后對定位精度無影響
工業(yè)和科研，如半導體檢驗、光纖對準。
| 6635911030 | 6635921030 | 66359x1230 | 單位 | 公差 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 帶直流電機和旋轉(zhuǎn)編碼器的Z向位移臺 | 帶步進電機的Z向位移臺 | 也帶線性編碼器（直接位置測量） | |||
| 主動軸 | Z | Z | Z | ||
| 運動和定位 | |||||
| 行程 | 13 | 13 | 毫米 | ||
| 集成傳感器 | 旋轉(zhuǎn)編碼器 | 線性編碼器 | |||
| 傳感器分辨率 旋轉(zhuǎn)編碼器 | 5000 | 步/圈 | |||
| 設計分辨率 | 0.0134 | 1.34（全步） | 0.05 | 微米 | 典型值 |
| 最小位移 | 0.5 | 0.5 | 0.1 | 微米 | |
| 單向重復精度 | 0.5 | 0.5 | 0.1 | 微米 | |
| 空回 | 2 | 2 | 微米 | ||
| 雙向重復性 | 3 | 3 | ±0.1 | 微米 | |
| 串擾，角度誤差xry（螺距） | ±100 | ±100 | 微弧度 | ||
| 串擾，角度誤差xrz（偏轉(zhuǎn)角） | ±100 | ±100 | 微弧度 | ||
| 速度 | 6 | 6 | 毫米/秒 |
| |
| 機械特性 | |||||
| 負載容量 | 200 | 200 | 牛 |
| |
| 保持力 | 30 | 60 | 牛 |
| |
| 驅(qū)動特性 | |||||
| 電機類型 | 直流電機 | 兩相步進電機 | |||
| 工作電壓 | 0至±12 | 伏 | |||
| 電機功率 | 17 | 瓦 | |||
| 限位開關(guān) | 光學 | 光學 | |||
| 其他 | |||||
| 工作溫度范圍 | -20 到 50 | -20 到 50 | °C | ||
| 材料 | 鋁，陽極氧化致黑 | 鋁，陽極氧化致黑 | |||
| 推薦控制器/驅(qū)動器 | C-863（單通道） | SMC Hydra（雙通道） C-663（單通道） | SMC Hydra（雙通道） |
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