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產品簡介
半導體高純氣露點儀
半導體高純氣露點儀采用對水分敏感的石英晶體微平衡傳感器,簡稱石英振蕩傳感器,具有抗污染,無漂移等優(yōu)點,測試范圍可低至-120度露點儀,也就是ppb微量水分析儀,半導體高純氣露點儀在半導體高純氣體,新材料特種氣體及研發(fā)機構中應用廣泛,是為數(shù)不多的石英振蕩技術實力派之一。石英晶體振蕩露點儀

三、半導體高純氣露點儀產品技術參數(shù)
| 性能 | |
| 測量技術 | 快速響應的石英晶振技術 |
| 范圍 | 校驗范圍 0.1 到 2000ppmv |
| 精度 | 0.01 ppmV ( 0.001 ~ 1 ppmV) 讀數(shù)的 ±10%(1 ~ 2000 ppmV) |
| 重復性 | ±0.01 ppmV ( 0.1 ~ 1 ppmV) 讀數(shù)的±5% ( 1 ~ 2000 ppmV) |
| 測量單位 | ppmV, ppmW, mg/nm3, vapor pressure (Pa), frost point (°C), lb/MMscf |
| 響應速度 | T63 <2 分鐘 T95 <5 分鐘 |
| 靈敏度 | 0.001 ppmV 或讀數(shù)的1%,取較大值 |
| 自我校驗 | 內置濕度發(fā)生器作為標準源 校驗可溯源到 NPL & NIST |
| 靈敏度 | 0.001ppmv 或 1% 讀數(shù),取zui大 |
| 顯示 | |
| 半導體高純氣露點儀 | 可選 |
| 模擬輸出 | 2 路可選4–20 mA 或1 到 5 V |
| 數(shù)字輸出 | 基于USB 和 ModBus TCP上的Ethernet傳輸 |
| 數(shù)據(jù)記錄 | 直接記錄到 SD 卡或通過 PC 應用軟件傳輸 |
| 報警 | 1 x 系統(tǒng)警報,干接點(FORM C) |
| 電源 | 24V |
| 工作條件 | |
| 進氣壓力 | 1 barg |
| 出氣壓力 | 大氣壓 |
| 樣氣流量 | 300ml/分鐘 總流量 @ 大氣壓 |
| 樣氣溫度 | 0 ~ +100°C |
| 工作環(huán)境 | 室內:+5 ~ +46°C,zui高達到90% RH |
| 機械性能 | |
| 外殼 | 不銹鋼 |
| 氣體接口 | G1/2英寸 |
| 重量 | 0.2Kg |
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移動站:半導體高純氣露點儀
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