半導體高純氣露點儀采用對水分敏感的石英晶體微平衡傳感器，簡稱石英振蕩傳感器，具有抗污染，無漂移等優(yōu)點，測試范圍可低至-120度露點儀，也就是ppb微量水分析儀，半導體高純氣露點儀在半導體高純氣體，新材料特種氣體及研發(fā)機構中應用廣泛，是為數(shù)不多的石英振蕩技術實力派之一。

半導體高純氣露點儀

半導體高純氣露點儀采用對水分敏感的石英晶體微平衡傳感器，簡稱石英振蕩傳感器，具有抗污染，無漂移等優(yōu)點，測試范圍可低至-120度露點儀，也就是ppb微量水分析儀，半導體高純氣露點儀在半導體高純氣體，新材料特種氣體及研發(fā)機構中應用廣泛，是為數(shù)不多的石英振蕩技術實力派之一。石英晶體振蕩露點儀

1. 半導體高純氣露點儀特點
   
2. 全量程從0.001 ~ 2000 ppmV 范圍，實現(xiàn)高精度的測量
3. 使用簡便，現(xiàn)場維護方便快捷，維護成本低
4. 精度高達 0.01ppmV，取較大值
5. 半導體高純氣露點儀針對變化中取樣條件進行可靠的測量 — 根據(jù)樣氣壓力和流量的變化進行自動調整
6. 
   
7. 不受背景氣體組分改變的影響
8. 維護間隔時間長
9. 十分鐘時間就可以替換干燥筒
10. 直觀的菜單界面
11. Ethernet 或者 USB 數(shù)字通訊
12. SD 卡數(shù)據(jù)記錄
13. SD 可選內置取樣系統(tǒng)和旁路

 

三、半導體高純氣露點儀產品技術參數(shù)

 

性能
測量技術	快速響應的石英晶振技術
范圍	校驗范圍 0.1 到 2000ppmv
精度	0.01 ppmV （ 0.001 ~ 1 ppmV） 讀數(shù)的 ±10%（1 ~ 2000 ppmV）
重復性	±0.01 ppmV （ 0.1 ~ 1 ppmV） 讀數(shù)的±5% （ 1 ~ 2000 ppmV）
測量單位	ppmV, ppmW, mg/nm3, vapor pressure (Pa), frost point (°C), lb/MMscf
響應速度	T63 <2 分鐘 T95 <5 分鐘
靈敏度	0.001 ppmV 或讀數(shù)的1%，取較大值
自我校驗	內置濕度發(fā)生器作為標準源 校驗可溯源到 NPL & NIST
靈敏度	0.001ppmv 或 1% 讀數(shù)，取zui大
顯示
半導體高純氣露點儀	可選
模擬輸出	2 路可選4–20 mA 或1 到 5 V
數(shù)字輸出	基于USB 和 ModBus TCP上的Ethernet傳輸
數(shù)據(jù)記錄	直接記錄到 SD 卡或通過 PC 應用軟件傳輸
報警	1 x 系統(tǒng)警報，干接點(FORM C)
電源	24V
工作條件
進氣壓力	1 barg
出氣壓力	大氣壓
樣氣流量	300ml/分鐘 總流量 @ 大氣壓
樣氣溫度	0 ~ +100°C
工作環(huán)境	室內：+5 ~ +46°C，zui高達到90% RH
機械性能
外殼	不銹鋼
氣體接口	G1/2英寸
重量	0.2Kg

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