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英國(guó)肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀減少晶圓水汽污染風(fēng)險(xiǎn)

來(lái)源：英肖儀器儀表（上海）有限公司 2026年08月21日 10:22

半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)中，各類工藝高純氣體是晶圓加工的重要介質(zhì)。在刻蝕、沉積等多道工序里，高純氣體直接接觸晶圓表面，一旦管路內(nèi)部混入水汽，水分子會(huì)附著在晶圓表面，引發(fā)材料氧化、表面缺陷等狀況，給后續(xù)加工流程帶來(lái)不少隱患。對(duì)工藝高純氣體管路實(shí)施持續(xù)的水分檢測(cè)，是半導(dǎo)體產(chǎn)線環(huán)境管控里很關(guān)鍵的一環(huán)，英國(guó)肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀，可用于半導(dǎo)體現(xiàn)場(chǎng)高純工藝氣體管路的露點(diǎn)監(jiān)測(cè)作業(yè)。

英國(guó)肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀采用 DIN 面板式安裝結(jié)構(gòu)，能夠安裝在半導(dǎo)體車間的電控機(jī)柜內(nèi)，契合潔凈廠房?jī)?nèi)部設(shè)備的布局規(guī)范。英國(guó)肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀配置 Shaw 氧化鋁傳感器，具備多種量程規(guī)格，測(cè)量區(qū)間覆蓋?100℃至 + 20℃露點(diǎn)，可適配不同種類高純工藝氣體的測(cè)量條件。英國(guó)肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀搭載背光 LED 顯示屏幕，現(xiàn)場(chǎng)工作人員可以直接查看實(shí)時(shí)露點(diǎn)數(shù)值，儀器支持℃、℉、ppm (v) 等多種單位自由切換，方便不同崗位人員讀取氣體水分相關(guān)數(shù)據(jù)。

現(xiàn)場(chǎng)部署階段，英國(guó)肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀接入高純氣體管路的采樣點(diǎn)位，實(shí)現(xiàn)全天候不間斷采集管路當(dāng)中工藝氣體的露點(diǎn)數(shù)據(jù)。英國(guó)肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀搭載兩路可編程報(bào)警繼電器，企業(yè)可對(duì)照產(chǎn)線工藝規(guī)范設(shè)定露點(diǎn)報(bào)警閾值。當(dāng)氣源或者管路出現(xiàn)異常，氣體露點(diǎn)超過(guò)管控閾值時(shí)，英國(guó)肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀便會(huì)輸出報(bào)警信號(hào)，提醒運(yùn)維人員排查氣源、管路密封以及過(guò)濾設(shè)備狀態(tài)，避免攜帶有水分的工藝氣體持續(xù)輸送至晶圓加工工位。

英國(guó)肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀提供隔離 4?20mA 模擬輸出接口，傳感器與主機(jī)之間的布設(shè)距離可以超過(guò) 1000 米，監(jiān)測(cè)信號(hào)能夠?qū)榆囬g PLC 控制系統(tǒng)，完成數(shù)據(jù)上傳與歷史留存，方便技術(shù)人員追溯氣路水分的波動(dòng)情況。英國(guó)肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀擁有 AutoCal 自動(dòng)校準(zhǔn)能力，設(shè)備附帶可溯源的校準(zhǔn)證書(shū)，便于產(chǎn)線執(zhí)行儀表周期校驗(yàn)工作。傳感器與氣體接觸零部件選用 316 不銹鋼，配套燒結(jié)不銹鋼過(guò)濾器，阻隔管路內(nèi)細(xì)微顆粒，降低顆粒對(duì)傳感器造成的損耗，適配半導(dǎo)體高純氣路的工況。

依靠英國(guó)肖氏進(jìn)口 SuperDew3 在線露點(diǎn)儀完成半導(dǎo)體工藝氣體管路的水分檢測(cè)，能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)氣路內(nèi)的水分異常，降低水汽對(duì)晶圓造成的污染，助力半導(dǎo)體產(chǎn)線維持工藝氣體的品質(zhì)穩(wěn)定

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