雷尼紹超精密測(cè)量光柵 超高精度 超小型

VIONiC光柵系列是雷尼紹性能高的增量式光柵，它可提供直接的數(shù)字位置反饋，具有優(yōu)異的測(cè)量性能，運(yùn)行速度快且可靠性好。VIONiC讀數(shù)頭集成雷尼紹經(jīng)過市場(chǎng)檢驗(yàn)的可靠光學(xué)濾波系統(tǒng)和細(xì)分技術(shù)。它具有超低的電子細(xì)分誤差(SDE)、優(yōu)異的抗污能力，而且無需額外使用適配器或單獨(dú)的接口。

此外，VIONiC讀數(shù)頭可兼容各種直線柵尺、圓弧柵尺和圓光柵，從低膨脹ZeroMet™柵尺到高精度REXM圓環(huán)光柵，無一例外。VIONiC系列光柵因此成為具有多功能性和優(yōu)異測(cè)量性能的理想光柵。

VIONiC光柵采用雷尼紹第三代光學(xué)濾波系統(tǒng)，可對(duì)多個(gè)光柵周期進(jìn)行平均，有效濾除臟污等引起的非周期性特征。名義方波光柵條紋也被濾去，以在探測(cè)器上留下一個(gè)正弦波形。這里使用的是一個(gè)多條紋結(jié)構(gòu)，它非常細(xì)，能夠產(chǎn)生4個(gè)對(duì)稱相位信號(hào)形式的光電流。這些結(jié)合在一起可免去DC器件，并可產(chǎn)生具有高光譜純度和低偏置值的正弦和余弦信號(hào)輸出，同時(shí)保持500 kHz以上的帶寬。

包括自動(dòng)增益控制、自動(dòng)平衡控制和自動(dòng)偏置控制在內(nèi)的集成高級(jí)動(dòng)態(tài)信號(hào)調(diào)節(jié)組合在一起，確保實(shí)現(xiàn)超低電子細(xì)分誤差 (SDE)(通常 < ±15 nm)。

光學(xué)濾波系統(tǒng)的這一改進(jìn)加上精選的優(yōu)質(zhì)電子器件，大帶寬增量信號(hào)可達(dá)到12 m/s的速度，同時(shí)也是同類光柵中位置抖動(dòng)(噪聲)最小的。讀數(shù)頭內(nèi)置細(xì)分功能，同時(shí)利用其他抗噪電子器件進(jìn)一步增強(qiáng)高分辨率型VIONiC的抗噪功能，從而實(shí)現(xiàn)抖動(dòng)水平僅有1.6 nm RMS。

雷尼紹超精密測(cè)量光柵 超高精度 超小型　　

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