zonglen半導(dǎo)體工藝 冰水機(jī)Chiller

ZL802是一臺循環(huán)液進(jìn)行溫度控制并將其供給至客戶的冷熱源的裝置。具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置，采用控溫設(shè)計和技術(shù)，具有廣泛的溫度范圍：-80℃至+300℃，在半導(dǎo)體制作過程激光加工機(jī)/分析裝置/LCD制造裝置/金屬模具溫控等廣泛用途中成果較多。

zonglen半導(dǎo)體工藝 冰水機(jī)Chiller 特點

·溫度范圍:-80℃~+300℃

·溫度穩(wěn)定性±0 .1℃℃

·PLC觸摸屏操作，人機(jī)交互界面

·結(jié)構(gòu)簡單、可靠性高

·定時運轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

·溫度波動小

zonglen半導(dǎo)體工藝 冰水機(jī)Chiller 應(yīng)用

·應(yīng)用于半導(dǎo)體、激光、焊接機(jī)、食品、包裝機(jī)，如：半導(dǎo)體（蝕刻裝置、CMP、涂布機(jī)）顯影機(jī)、試驗機(jī)、清洗機(jī)，激光（激光加工機(jī)、激光焊接機(jī)、激光器、光纖激光器用傳送電纜接頭、超聲波檢查裝置、二次電池制造工程）

·焊接機(jī)（弧焊、電阻焊接、高頻感應(yīng)加熱設(shè)備）

可用選項

·省空間、省配線、省配管、省工時、雙變頻型更節(jié)能。

可對應(yīng)溫度穩(wěn)定性±0.1℃、溫度范圍-80℃~+300℃。

循環(huán)液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水（純水）。

冷卻方式：風(fēng)冷式（可選配水冷式）