| 參考價 | 面議 |
產(chǎn)品簡介
一、概述：
這款配置的高真空CVD系統(tǒng)集快速紅外加熱爐，2通道氣路系統(tǒng)和低真空系統(tǒng)組成。控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，具有控溫精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡單易操作等特點。本套系統(tǒng)用于CVD退火，也可以應(yīng)用于于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。
二、主要技術(shù)參數(shù)
1200加熱爐 | 電壓 | AC380V 50/60Hz |
功率 | 24KW | |
加熱區(qū)長 | 400mm | |
使用溫度 | 1100℃ | |
工作溫度 | ≤1000℃ | |
升溫速率： | ≤600℃/min | |
溫控系統(tǒng) | PID自動控制晶閘管（可控硅）輸出功率， 30段可編程控制器， | |
恒溫精度 | ±5 | |
石英管 | Φ50/60/80/100*1400mm | |
兩路質(zhì)量流量控制系統(tǒng) | 電壓 | 185~24V/50Hz |
輸出功率： | 18W | |
流量計標(biāo)準(zhǔn)量程 | 300SCCM | |
工作溫度： | 5~45 oC | |
工作壓差： | 0.1～0.5 MPa | |
壓力： | 3Mpa | |
準(zhǔn)確度： | ±1.5% FS | |
真空系統(tǒng) | 1.采用雙極旋片真空泵，真空度可達5×10-1 Torr不銹鋼充油真空壓力表，良好的抗震性 2.安裝過濾器 | |
法蘭及支撐 | 304不銹鋼快速水冷法蘭，長期水冷無腐蝕一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合，4個密封硅膠圈等 | |
可選配件 | 混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng)，各種剛玉坩堝，石英管，計算機控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀，冷卻水循環(huán)機等。 | |
留言咨詢
移動站：快速升溫CVD系統(tǒng)
您訪問的快速升溫CVD系統(tǒng)產(chǎn)品信息，由上海翰軍實驗設(shè)備有限公司自行發(fā)布提供，產(chǎn)品價格為面議，如您想了解更多關(guān)于快速升溫CVD系統(tǒng)型號、參數(shù)、用途等信息，歡迎咨詢。
該內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布會員負責(zé)，為保障安全，建議您在購買相關(guān)產(chǎn)品前務(wù)必確認供應(yīng)商資質(zhì)以及產(chǎn)品質(zhì)量！
相關(guān)分類
該廠商其他產(chǎn)品
隨時掌握行業(yè)動態(tài)
采購中心
采購專員1對1咨詢
*您想獲取產(chǎn)品的資料：
個人信息：
孟州市|
维西|
南投市|
平湖市|
盘山县|
开原市|
万全县|
永福县|
阜宁县|
尚义县|
建昌县|
普宁市|
杭州市|
三门峡市|
大英县|
左云县|
威海市|
同仁县|
长乐市|
松溪县|
原阳县|
仁寿县|
冷水江市|
吉首市|
东台市|
湄潭县|
海原县|
忻城县|
遵义县|
巴青县|
通道|
定兴县|
南江县|
常熟市|
铁岭市|
青铜峡市|
开阳县|
厦门市|
留坝县|
亚东县|
柏乡县|
用戶評論
發(fā)布評論