型號(hào)

UFP3C-L

UFP3C-R

UFP5C

UFP5C-R

UFP6C-L

UFP6C-R

行程 (靈敏度)

X

粗調(diào)：±6.5mm；精調(diào)：±0.3mm；(粗調(diào)：≤10μm；精調(diào)：≤0.5μm)

Y

粗調(diào)：±6.5mm；精調(diào)：±0.3mm；(粗調(diào)：≤10μm；精調(diào)：≤0.5μm)

Z

粗調(diào)：±6.5mm；精調(diào)：±0.3mm；(粗調(diào)：≤10μm；精調(diào)：≤0.5μm)

θx

-

-

±3°(≤25.2″)

θy

-

-

±3°(≤23.4″)

θz

-

-

-

-

±4°(≤34″)

導(dǎo)向機(jī)構(gòu)

交叉滾柱導(dǎo)軌

交叉滾柱導(dǎo)軌+交叉滾柱軸環(huán)

驅(qū)動(dòng)方式

分厘卡

主體材料及表面處理

鋁合金，黑色陽(yáng)極氧化處理

自重(Kg)

1.74

2.37

2.7

負(fù)載(Kg)

1.5

1

0.5