RTP快速退火爐由我公司自主研發(fā)的功能*的加熱設備。該產品采用進口紅外線加熱管加熱，造型新穎結構合理，爐體和爐管可以自由滑動，可實現快速升降溫。爐管內尺寸120MM，可以直接放下4英寸的材料。試樣反應區(qū)處在一個密閉的石英腔體內，在完成生產工藝的同時，也大大降低了間接污染試樣的可能性。

主要功能和特點:

1、可視化7寸觸摸屏，設定數據和操作都是圖文界面，操作方便;

2、爐體配備高精度移動平臺，運行平穩(wěn)無抖動;

3、爐管可自由移動，且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能;當爐管移出爐膛時冷確風扇啟動，可實現試樣的迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實驗要求;

4、爐膛采用進口多晶纖維真空吸附制成，采用進口紅外線加熱管加熱，使用壽命可達5000小時，升溫速度快，*高溫度可達1050℃。

5、預留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用;

6、預留了485轉換接口，可通過我司軟件，與計算機互聯(lián)，可實現單臺或者多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能;

7、設置超溫報警并斷電，漏電保護，操作可靠。

主要用途和適用范圍:

  用于半導體器件研發(fā)及生產等領域，可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火，氧化物生長以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。

主要技術參數：