圓柱形測(cè)針：適用于利用圓柱形的側(cè)面，測(cè)量薄斷面間的尺寸,曲線形象或加工的孔等；只有圓柱形的斷面方向的測(cè)量有效，軸方向上測(cè)量困難的情況很多(圓柱形的底部分加工成和圓柱形軸同心的球模樣時(shí)，在軸方向上的測(cè)量也可能)；使用圓柱形測(cè)頭整體(高度)時(shí)，圓柱形軸和三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)軸要*(一般在同一斷面內(nèi)進(jìn)行測(cè)量)。
盤(pán)形測(cè)針：在球的中心附近截?cái)嘧龀傻谋P(pán)模樣的測(cè)頭；盤(pán)形斷面的形象因?yàn)槭乔?，所以校正原理和球形測(cè)頭相同；利用外側(cè)直徑部分或厚度部分進(jìn)行測(cè)量；適用于測(cè)量瓶頸面間的尺寸, 槽的寬或形象等的；利用環(huán)規(guī)校正較便利
星形測(cè)針：用于多形態(tài)的多樣工件測(cè)量；同時(shí)校正并使用多個(gè)測(cè)頭，所以可以使測(cè)頭運(yùn)動(dòng)小化，并測(cè)量側(cè)面的孔或槽等；使用和球形測(cè)頭一樣的方法進(jìn)行校正。
點(diǎn)式測(cè)針：一般的XY測(cè)量時(shí)不使用；用于測(cè)量精密度低的螺絲槽,標(biāo)示的點(diǎn)或裂紋劃痕等；比起使用具有半徑的點(diǎn)式測(cè)頭的情況，可能精密的進(jìn)行校正，用于測(cè)量非常小的孔的位置等。
球形測(cè)針：多用于尺寸, 形象, 坐標(biāo)測(cè)量等；球直徑一般為0.3 ~ 8.0mm，多樣使用；材料主要使用硬度高，耐磨性強(qiáng)的工業(yè)用紅寶石。
半球式測(cè)針：用于測(cè)量深處的形象和孔等；表面粗糙的工件的測(cè)量也有效。