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脫水干燥方法和裝置,以及襯底處理裝置

來源:   2006年06月26日 10:25  
發(fā) 明 人:阿藤浩司;戶川哲二

脫水干燥方法脫水和干燥襯底。在不旋轉(zhuǎn)的情況下脫水和干燥襯底(15)同時襯底(15)容納在用來在用于執(zhí)行一些處理的裝置間承載襯底(15)的載體(10)中。  

權(quán)利要求
一種用于脫水和干燥襯底的脫水干燥方法,包括:脫水和干燥襯底,同時將襯底容納在用來承載襯底的載體中。

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