近年來,憑借巨大的市場需求、穩(wěn)定的經濟增長及有利的產業(yè)政策環(huán)境等優(yōu)勢條件,中國半導體產業(yè)步入了新一輪加速發(fā)展的階段。近幾年年均復合增長率達12%,市場規(guī)模突破萬億。半導體行業(yè)的快步發(fā)展,也驅動著超純水行業(yè)的不斷革新。

對于半導體產業(yè)而言,超純水的純度是確保高效生產的基石之一,工藝的先進性和穩(wěn)定性直接影響產品的質量和生產效率,與產品良率及經濟效益密切關聯,更是下游客戶選擇合作方的關鍵指標。

超純水的指標要求越高,背后的制備工藝也愈加繁復,對超純水系統(tǒng)的要求也更為嚴苛。因此,超純水的制備技術在半導體工業(yè)的發(fā)展中是非常重要的一環(huán)。經過多年發(fā)展,國內已有部分企業(yè)實現設備或核心材料的生產,逐漸實現超純水國產化,超純水生產制備技術和工藝日益成熟。

超純水設備助力半導體行業(yè)攻堅克難

超純水純度制備技術一直是行業(yè)攻克難關,影響產品良率的雜質濃度包括:有機物(TOC)、顆粒物、細菌、金屬和陰離子,尤其超純水中的硼含量始終難以達到極低的標準,作為硅的“摻雜劑”,“摻雜”過程中,將硼原子引入硅晶體中,雖然可以改變硅晶體的電氣特性,但也不可避免地影響了硅襯底的導電性。因此超純水中無限降低硼的含量對半導體的制造過程至關重要。

萊特萊德公司的半導體超純水設備，能夠滿足最嚴苛的電子工業(yè)和半導體級超純水標準，標志著公司在國內超純水行業(yè)掌握了核心技術，并且達到了較高水平，國內現有半導體行業(yè)在晶圓、硅片、電路板等生產過中超純水技術的空白與短板。

萊特萊德超純水設備產水水質高，采用超純水膜元件，在拋光段采用陶氏進口拋光樹脂以及自主研發(fā)的除硼專用樹脂，在保證系統(tǒng)高回收率的同時，有效提高系統(tǒng)的產水水質。占地面積小，擁有專業(yè)后期設計團隊，根據客戶現場實際情況設計設備的外形及擺放，提高設備的集成度，盡量減少設備的占地面積，在考慮設備外形美觀的同時，兼顧設備操作人員的操作舒適度。運行費用低，保證設備產水水質的同時，降低設備的運行壓力，提高系統(tǒng)回收率，降低運行成本。