當(dāng)前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，半導(dǎo)體芯片產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝不斷向更高水平精度邁進(jìn)，生產(chǎn)環(huán)境中哪怕微小的塵埃粒子都可能引發(fā)短路、良品率下降等嚴(yán)重問題，產(chǎn)品質(zhì)量對(duì)生產(chǎn)環(huán)境潔凈度的要求愈發(fā)嚴(yán)苛，依據(jù) ISO14644-1（2015）法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)，塵埃粒子計(jì)數(shù)器成為保障生產(chǎn)環(huán)境的關(guān)鍵設(shè)備。
 
塵埃粒子計(jì)數(shù)器是用于測(cè)量潔凈環(huán)境中單位體積內(nèi)塵埃粒子數(shù)和粒徑分布的儀器，從而為空氣潔凈度的評(píng)定提供依據(jù)。由于芯片制造工藝及封裝等生產(chǎn)流程極其復(fù)雜，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的凈化要求較高，必須禁止因粉塵顆粒、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路，控制凈化環(huán)境下的作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)中超微小顆粒物數(shù)量至關(guān)重要。
 
ISO14644-1（2015）法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)潔凈度的要求
ISO14644-1（2015）將潔凈室按空氣中粒子濃度劃分為 ISO 1 - ISO 9 級(jí)，對(duì)不同等級(jí)下的粒子濃度上限、檢測(cè)狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)）及儀器校準(zhǔn)等作出明確規(guī)范。芯片制造的關(guān)鍵工序通常需在 ISO 5級(jí)以上甚至ISO 1級(jí)潔凈度環(huán)境下進(jìn)行，微小塵埃粒子可能導(dǎo)致潔凈失控會(huì)引發(fā)大面積不良，單顆高品質(zhì)芯片、整片晶圓成本較高，污染帶來的報(bào)廢損失巨大；穩(wěn)定的潔凈環(huán)境是高良率的核心，因此需嚴(yán)格遵循標(biāo)準(zhǔn)，通過塵埃粒子計(jì)數(shù)器準(zhǔn)確監(jiān)測(cè)環(huán)境，確保生產(chǎn)條件達(dá)標(biāo)。


 
Kanomax 3950及3901型號(hào)塵埃粒子計(jì)數(shù)器搭載激光散射檢測(cè)技術(shù)，能夠?qū)?.1至 1μm 粒徑的粒子進(jìn)行準(zhǔn)確計(jì)數(shù)，其檢測(cè)靈敏度遠(yuǎn)超行業(yè)平均水平，在半導(dǎo)體行業(yè)多個(gè)核心工藝點(diǎn)位發(fā)揮重要作用，為半導(dǎo)體精密生產(chǎn)筑牢品質(zhì)防線。

   
3950和3901型號(hào)塵埃粒子計(jì)數(shù)器在半導(dǎo)體芯片制造核心場(chǎng)景的應(yīng)用：
1. 晶圓廠（Fab）工藝環(huán)境監(jiān)測(cè)
光刻區(qū)：0.1μm粒子易導(dǎo)致光刻膠缺陷、圖案短路/斷路，實(shí)時(shí)監(jiān)控曝光臺(tái)/涂膠顯影機(jī)微環(huán)境，保障線寬精度。
刻蝕/沉積區(qū)：腔體與傳送腔（Load Port）的粒子會(huì)造成晶圓表面針孔、顆粒污染，嵌入設(shè)備內(nèi)部，24 小時(shí)監(jiān)測(cè)關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)。
潔凈室（ISO 1–5級(jí)）：巡檢 FFU、隧道式潔凈區(qū)、晶圓傳送路徑，驗(yàn)證潔凈度等級(jí)，預(yù)防批量污染。



2. 設(shè)備集成與微環(huán)境監(jiān)控
機(jī)臺(tái)嵌入式監(jiān)測(cè)：體積小，可直接安裝在光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)內(nèi)部，實(shí)時(shí)反饋腔體內(nèi)粒子濃度，超標(biāo)聯(lián)動(dòng)報(bào)警/停機(jī)。
SMIF/FOUP 存儲(chǔ)區(qū)：監(jiān)控晶圓承載盒（FOUP）存取區(qū)粒子，避免存儲(chǔ)/傳輸過程二次污染。
管道/氣體管路：監(jiān)測(cè)高純氮?dú)?、工藝氣體中的粒子，防止氣源污染晶圓。


 
3. 封裝測(cè)試環(huán)節(jié)
晶圓切割/鍵合：切割粉塵、鍵合碎屑易導(dǎo)致短路，監(jiān)測(cè)切割臺(tái)/鍵合機(jī)周邊，保障封裝良率。
潔凈封裝室：控制0.1μm粒子，避免封裝后芯片表面缺陷，提升可靠性。
4. 質(zhì)量驗(yàn)證與故障追溯
日常巡檢：便攜移動(dòng)，快速排查潔凈室死角、設(shè)備排風(fēng)、人員出入口粒子濃度。
異常溯源：粒子超標(biāo)時(shí)，通過時(shí)間戳數(shù)據(jù)定位污染源（如FFU失效、機(jī)臺(tái)泄漏、人員帶入）。
合規(guī)認(rèn)證：數(shù)據(jù)可追溯，滿足半導(dǎo)體行業(yè)ISO 14644、SEMI標(biāo)準(zhǔn)審核要求。
 
 
數(shù)據(jù)分析與持續(xù)改進(jìn)：
對(duì)3950和3901 型號(hào)塵埃粒子計(jì)數(shù)器采集的大量數(shù)據(jù)進(jìn)行深度分析，通過繪制粒子濃度變化趨勢(shì)圖、對(duì)比不同時(shí)間段數(shù)據(jù)等方式，找出環(huán)境變化規(guī)律和潛在污染源。
 


例如，分析發(fā)現(xiàn)某時(shí)間段內(nèi)車間粒子濃度升高與設(shè)備維護(hù)周期有關(guān)，企業(yè)可據(jù)此優(yōu)化設(shè)備維護(hù)計(jì)劃；通過對(duì)比不同批次產(chǎn)品生產(chǎn)時(shí)的環(huán)境數(shù)據(jù)，找出影響產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)境因素，針對(duì)性地改進(jìn)生產(chǎn)工藝和環(huán)境控制措施，實(shí)現(xiàn)芯片產(chǎn)品良率的持續(xù)提升。
 
Kanomax超小型粒子計(jì)數(shù)器3950-00，同時(shí)監(jiān)測(cè)0.1μm和0.3μm的單位體積內(nèi)的微小粒子個(gè)數(shù)，也可作為傳感器嵌入生產(chǎn)設(shè)備實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)的超微粒子，為凈化作業(yè)環(huán)境的潔凈度評(píng)定提供依據(jù)，為芯片制造保駕護(hù)航！


 
既往產(chǎn)品尺寸難以嵌入半導(dǎo)體制造裝備中使用，本產(chǎn)品通過壓倒性的小型化，使傳感器嵌入設(shè)備中使用變?yōu)楹?jiǎn)便易行。


 
致輕、致小

實(shí)現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中
 
額定流量：2.83L/min
同時(shí)測(cè)試0.1、0.3μm微小粒子
 
4.3英寸彩色觸摸顯示屏
可使用附帶軟件在PC上顯示測(cè)試數(shù)據(jù)
 
通訊接口
標(biāo)配RS-485,Ethernet,USB



 
作為傳感器嵌入到設(shè)備裝置中 
潔凈室的清潔度管理 
高清潔度區(qū)域的管理

0.1um塵埃粒子計(jì)數(shù)器3950在半導(dǎo)體芯片制造領(lǐng)域潔凈度管控中的應(yīng)用