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英國(guó) SHAW 在線式露點(diǎn)儀 Superdew3 搭配 SU4 調(diào)壓裝置

來源：英肖儀器儀表（上海）有限公司 2026年08月12日 10:20

半導(dǎo)體刻蝕、擴(kuò)散工序高度依賴氬氣、氦氣、氮?dú)庾鳛楣に囕d氣與保護(hù)介質(zhì)，整套制程處于高溫真空環(huán)境，管路密封滲漏、純化設(shè)備性能衰減帶來的 ppmV 級(jí)微量水分，會(huì)快速與硅晶圓基底發(fā)生氧化反應(yīng)，在晶片表面形成氧化瑕疵，破壞光刻圖形結(jié)構(gòu)，直接拉低整片晶圓生產(chǎn)良率。想要持續(xù)穩(wěn)定把控工藝氣體水分含量，行業(yè)常將英國(guó) SHAW 在線式露點(diǎn)儀 Superdew3 與 SU4 樣品調(diào)節(jié)裝置配套部署在特氣輸送管路，搭建完整的氣體取樣監(jiān)測(cè)體系。

SU4 樣品調(diào)壓裝置是英國(guó) SHAW 在線式露點(diǎn)儀 Superdew3 的配套輔助組件，集成壓力調(diào)節(jié)、傳感器安裝基座與面板式流量計(jì)，可對(duì)高壓特氣做穩(wěn)壓、限流處理，把氣體參數(shù)調(diào)整至適配英國(guó) SHAW 在線式露點(diǎn)儀 Superdew3 檢測(cè)的工況區(qū)間，穩(wěn)定控制 2-5L/min 的理想取樣流量，規(guī)避高壓氣流沖擊傳感器造成的數(shù)據(jù)波動(dòng)；裝置提供 1/8 英寸、1/4 英寸、6mm 多種氣動(dòng)接頭，可匹配不同規(guī)格半導(dǎo)體特氣管路，實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)快速裝配。

針對(duì)氬氣、氦氣、氮?dú)膺@類超干燥高純氣體監(jiān)測(cè)需求，英國(guó) SHAW 在線式露點(diǎn)儀 Superdew3 可選用 S 銀色或 R 紅色傳感器，S 銀色傳感器覆蓋 - 100℃至 - 20℃露點(diǎn)量程，R 紅色傳感器測(cè)量區(qū)間為 - 80℃至 - 20℃露點(diǎn)，兩類傳感器均可覆蓋半導(dǎo)體車間普遍要求的超低露點(diǎn)管控區(qū)間。英國(guó) SHAW 在線式露點(diǎn)儀 Superdew3 搭載氧化鋁電容傳感元件，干態(tài)轉(zhuǎn)濕態(tài)響應(yīng)時(shí)長(zhǎng)不足 20 秒，管路內(nèi)水分出現(xiàn)小幅波動(dòng)時(shí)，儀器可快速捕捉數(shù)值變化，0.1℃的細(xì)分分辨率能清晰反饋 ppmV 級(jí)水分差異，便于工作人員及時(shí)定位氣源異常點(diǎn)位。

英國(guó) SHAW 在線式露點(diǎn)儀 Superdew3 自帶 AutoCal 自動(dòng)校準(zhǔn)功能，借助設(shè)備面板電位器即可完成現(xiàn)場(chǎng)量程核查，無需頻繁拆卸下線送檢，減少產(chǎn)線監(jiān)測(cè)中斷時(shí)長(zhǎng)。設(shè)備配備兩路獨(dú)立可編程報(bào)警繼電器，運(yùn)維人員可根據(jù)刻蝕、擴(kuò)散工序工藝標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定露點(diǎn)閾值，一旦特氣水分超標(biāo)，英國(guó) SHAW 在線式露點(diǎn)儀 Superdew3 會(huì)立刻輸出報(bào)警信號(hào)；標(biāo)配隔離 4-20mA 模擬輸出接口，可對(duì)接工廠中央控制系統(tǒng)，實(shí)時(shí)上傳露點(diǎn)數(shù)據(jù)完成長(zhǎng)期記錄留存。

安裝適配性上，英國(guó) SHAW 在線式露點(diǎn)儀 Superdew3 為標(biāo)準(zhǔn) DIN 面板安裝結(jié)構(gòu)，前面板 IP54 防護(hù)等級(jí)，能夠適應(yīng)半導(dǎo)體車間恒溫潔凈但持續(xù)通風(fēng)的現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境；探頭接觸部件采用 316 不銹鋼材質(zhì)，搭配 50 微米燒結(jié)不銹鋼過濾器，阻隔氣體管路內(nèi)細(xì)微粉塵雜質(zhì)，降低傳感器損耗。儀表與傳感器最遠(yuǎn)支持 1000 米距離布設(shè)，適配晶圓廠房特氣主管路分散布局的工況，整機(jī)與傳感器同步享有 12 個(gè)月質(zhì)保周期。

在刻蝕、擴(kuò)散工序氬氣、氦氣、氮?dú)夤苈反钆?SU4 調(diào)壓裝置部署英國(guó) SHAW 在線式露點(diǎn)儀 Superdew3，能夠?qū)崿F(xiàn)工藝氣體微量水分不間斷在線監(jiān)測(cè)，提前察覺氣源純化、管路密封的異常問題，減少晶圓氧化缺陷帶來的物料損耗，為半導(dǎo)體精密制程提供穩(wěn)定可靠的氣源監(jiān)測(cè)保障。

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