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英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀,守護半導體車間特種氣體品質(zhì)

來源:英肖儀器儀表(上海)有限公司   2026年08月10日 10:03  

半導體晶圓加工、芯片封裝環(huán)節(jié)高度依賴高純氮氣、氬氣作為吹掃保護氣體,行業(yè)普遍要求管路內(nèi)氣體露點穩(wěn)定維持在 - 70℃以下。氣體中留存的微量水分,會在高溫工藝環(huán)境下引發(fā)晶圓表面氧化,還會造成芯片內(nèi)部電路短路、封裝膠體分層等問題,直接拉高車間產(chǎn)品不良率。特種氣體供氣站多屬于易燃易爆管控區(qū)域,常規(guī)檢測設備存在使用限制,英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀憑借合規(guī)防爆配置與穩(wěn)定檢測能力,成為半導體廠區(qū)氣源露點校驗的常用設備。
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英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀持有 ATEX、IECEx 本質(zhì)安全相關(guān)認證,能夠直接進入特種氣體供氣站這類危險區(qū)域開展檢測作業(yè),無需額外加裝配套防護配件。工作人員可攜帶英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀,沿著氮氣、氬氣輸送管網(wǎng)逐段取樣,分別檢測儲氣出口、管路分岔節(jié)點、晶圓蝕刻工位、封裝吹掃工位的氣體露點,快速核驗整條供氣線路的干燥狀態(tài)。
英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀搭載氧化鋁傳感元件,可選配低露點量程傳感模塊,可覆蓋 - 100℃至 0℃的測量區(qū)間,適配半導體車間≤-70℃的嚴苛管控標準。設備自帶干燥劑干燥室結(jié)構(gòu),檢測前可隔絕外界濕氣、凈化傳感器腔體,避免環(huán)境水汽干擾檢測數(shù)值,開機短時間內(nèi)就能獲取穩(wěn)定讀數(shù),適合車間多管路、多點位的流動檢測工作。
若檢測過程中,英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀讀出的數(shù)值高于 - 70℃,說明氣源干燥單元吸附材料趨于飽和,或是輸送管路存在微滲漏問題。運維人員可依據(jù)英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀記錄的分段數(shù)據(jù),精準定位異常管段,及時更換干燥吸附劑、修復管路滲漏點,將氣體水分含量控制在工藝允許范圍,減少芯片氧化、分層等不良品產(chǎn)出。
英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀支持現(xiàn)場自動校準,巡檢過程中無需額外標準氣源即可完成設備校驗,內(nèi)置大容量電池可長時間連續(xù)測量,配套便攜防護外殼便于在潔凈車間、供氣站之間轉(zhuǎn)運。儀器附帶可溯源校準證書,檢測數(shù)據(jù)可留存歸檔,方便車間完成生產(chǎn)品質(zhì)管控記錄。
常態(tài)化使用英國 SHAW 肖氏進口 SADP 便攜式露點儀完成高純吹掃氣體露點檢測,可持續(xù)穩(wěn)定特種氣體干燥指標,減少水分帶來的各類芯片缺陷,為半導體晶圓、封裝工序平穩(wěn)生產(chǎn)提供數(shù)據(jù)支撐。


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