這部分材料討論的是低溫泵怎么應(yīng)用在光學(xué)鍍膜過程能夠降低成本，提高循環(huán)周期和生產(chǎn)力，同時極大地增加膜層粘合性和硬度以及可連續(xù)重復(fù)運行性。

    加工和制造光學(xué)膜的工藝越來越復(fù)雜。為了同時滿足鍍膜的產(chǎn)量和質(zhì)量，需要解決大量的棘手問題。從襯底的清洗和準(zhǔn)備到zui終檢驗和測試，而鍍膜工序是真正的麻煩工序。

    擴散泵已經(jīng)應(yīng)用在光學(xué)鍍膜工業(yè)上大約30年了，很多人用習(xí)慣了，隨著對鍍膜質(zhì)量要求的提高，需要更好的真空獲得設(shè)備。好在我們有了低溫泵，它能提供潔凈、無油的真空;不僅如此，甚至在人員操作失誤、斷電和設(shè)備故障時，腔體和加工件都不會被污染。這與擴散泵系統(tǒng)故障后的情況形成鮮明的對比。擴散泵系統(tǒng)若出現(xiàn)上述故障，需要進行拆卸、清洗、重新組裝、檢漏和過程重新檢查等處理過程。突然的真空度故障后，常規(guī)處理需要花費幾天到一個禮拜的時間。

    低溫泵自身不放氣：低溫泵沒有熱的元件來造成放氣，也不會使水蒸氣熱分解成氫氣和氧氣或產(chǎn)生甲烷。

    而且，因為沒有流體、移動部件或密封暴露在真空中，所以腐蝕、污染等故障都沒有。

    鍍膜質(zhì)量、可重復(fù)性、生產(chǎn)能力

    低溫泵抽速大，能縮短鍍膜周期，提高產(chǎn)量。在低溫泵中*暴露在真空系統(tǒng)中的表面是低溫冷凝板，它可以保持足夠低的溫度來冷凝并且容許鍍膜腔內(nèi)所有的氣體進入低溫泵。低溫泵可提供對水的大抽速而不需任何液氮。低溫泵對其他氣體的抽速比相同尺寸的液氮冷阱/擴散泵組合大約高50％~100％。這些在抽速上的提高意味著在很短的時間就可達到所需的真空度，而且在處理過程中相同的條件下可使像氫氣和氧氣這樣的反應(yīng)氣體的分壓減少50％以上。

    某公司在介紹把擴散泵換成低溫泵后的好處時說“使用低溫泵后，我們在每次鍍膜時達到非常好的可重復(fù)性（一致性），我們已不再需要進行試驗和測試鍍膜，除非是一項新的鍍膜產(chǎn)品進行鍍膜時。甚至在更換操作人員和復(fù)雜的鍍膜時仍能維持好的可重復(fù)性。”

    低溫泵提供的高質(zhì)量真空增加鍍膜產(chǎn)品的生產(chǎn)量和質(zhì)量。以前，當(dāng)公司的鍍膜使用油擴散泵時，因粘著性和硬度測試達不到要求使5lOmm和32英寸（810mm）腔體的二次鍍膜率分別為1/8和1/10，而在安裝運用低溫泵后的二次鍍膜率為0。運用低溫泵后生產(chǎn)的膜層密集、堅固，并且有很好的抗磨損性。

   即使使用的zui貴的合成擴散泵油，采用高的真空腔體切換壓力，也需要防止低真空泵返油：油遷移到感光底層或內(nèi)部腔體壁和表面上并在那里聚合。因此，隨著一次次鍍膜的進行，污染物通過除氣作用重新釋放到腔體。腔體變得越來越臟，造成粘著性和針孔問題使得產(chǎn)量減小。zui靠近污染的腔體壁的光學(xué)鍍膜遭受的影響zui大。換成低溫泵后消除了返油造成的污染。

    低溫泵不會因為短暫電壓的降低或斷電而使得昂貴的鍍膜層損壞。低溫泵可以依靠它的低溫環(huán)境來維持它的真空度并且能在斷電后繼續(xù)抽氣10至20分鐘。這對于斷路器復(fù)位已經(jīng)足夠長的時間了，并且可以挽救生產(chǎn)中潛在的危險。

    正常使用情況下，低溫泵和壓縮機應(yīng)該長期運行2萬至3萬小時而無需檢查。有些用戶的泵在沒有進行任何檢查的情況下已經(jīng)運行了6萬小時或更長的時間。

    定期的維護主要在于每運行l(wèi)萬小時后需要更換壓縮機單元內(nèi)不太昂貴的吸附器。另外，由于低溫泵是一個誘捕吸附泵，且是用腔體來凝結(jié)和儲存氣體的，所以定期進行再生是必要的，這是一個很簡單的處理方式，能被大家普遍接受。

    低溫泵的再

    低溫真空泵再生

    低溫真空泵再生典型過程：首先讓低溫冷凝板回溫到環(huán)境溫度，接著抽真空到5×10-2?1×10-1。托，zui后重新啟動低溫泵冷卻冷陣到合適的工作溫度。

    低溫泵的再生不需要很頻繁。一個有48英寸的真空腔體的鍍膜設(shè)備，鍍膜時兩班輪換運轉(zhuǎn)，且每班鍍膜12次，僅需要大約每兩同或在120次鍍膜之后進行一次再生。當(dāng)然在條件下很頻繁的再生也許是必要的。例如，在水蒸氣負(fù)載高的情況下在塑料襯底上鍍四層膜，30分鐘的循環(huán)一次，平均每天鍍32次，產(chǎn)量超過3.8萬件。

    是有計劃的進行再生，可以在用戶方便的情況下定期進行，典型的就是在周末不需操作人員看護下進行。甚至用微處理器控制的自動再生系統(tǒng)在車間關(guān)門后沒有生產(chǎn)運行干擾情況下完成再生。從泵被隔開、關(guān)機、純化和加熱，到粗抽和重新啟動運行的整個再生循環(huán)是*無需手動的。

    許多低溫泵用戶把再生安排在周一早上較早的進行，以便于使系統(tǒng)準(zhǔn)備好為*班所用。在某些情況下，兩臺低溫泵可以同時進行再生。

    什么情況下需要再生?這很容易通過檢測低溫泵溫度的上升來確定，可以觀察氫蒸氣壓溫度計;或檢測系統(tǒng)工作壓力是否有緩慢的升高。   使用低溫泵后，薄膜質(zhì)量更好收益更高，并且生產(chǎn)量更高。這已經(jīng)吸引了大部分光學(xué)鍍膜廠家和激光產(chǎn)品生產(chǎn)者幾乎100％地?fù)Q成使用低溫泵?？梢灶A(yù)計，由于競爭壓力和對高質(zhì)量光學(xué)鍍膜的需求，促使光學(xué)鍍膜公司全部轉(zhuǎn)為使用低溫泵