德國Sentech光伏測量儀器RT Inline，薄膜反射和透射的在線監(jiān)測系統(tǒng)

反射率、透射率和膜厚的高速在線測量是RT Inline的設(shè)計(jì)特點(diǎn)。傳感器頭陣列掃描薄膜在大型玻璃基板上的反射和/或透射，作為內(nèi)部參考測量。利用FTPadv Expert軟件可以方便地進(jìn)行層沉積過程的在線監(jiān)測。軟件接口可用于與主機(jī)的數(shù)據(jù)通信。

高速薄膜測量

借鑒內(nèi)部參考技術(shù)，不需要在單獨(dú)的位置上進(jìn)行外部參考測量。這保證了連續(xù)多點(diǎn)薄膜測量的速度。

多探頭裝置

多達(dá)7個(gè)傳感器探頭由一個(gè)控制器驅(qū)動(dòng)，為均勻性監(jiān)測提供了具有成本效益的解決方案。

SENTECH*軟件

易于使用、基于配方的FTP軟件包括一個(gè)大型的預(yù)定義應(yīng)用數(shù)據(jù)庫，這些應(yīng)用符合研發(fā)以及生產(chǎn)環(huán)境中的質(zhì)量控制要求。

RT inline 薄膜測量系統(tǒng)是為沉積過程的在線質(zhì)量控制而設(shè)計(jì)的。該方法基于SENTECH的薄膜厚度探針FTPadv，用于測量反射率和薄膜厚度。它分別工作在420～1050 nm、2000～2500 nm的光譜范圍內(nèi)?？梢苑治龉饣图y理結(jié)構(gòu)的TCO薄膜、CdS薄膜、a-Si、µ-Si、CIGS和CdTe吸收膜。

通過RT inline，可以無損傷地監(jiān)測大型玻璃基板或塑料線圈上TCO、吸收層和緩沖層沉積的均勻性。薄膜厚度和反射率測量是通過固定安裝的傳感器探頭在玻璃基板上方從沉積設(shè)備傳送到下一個(gè)工藝期間進(jìn)行的。

一個(gè)控制器可以操作多達(dá)7個(gè)傳感器，使得RT inline測量儀器具有成本效益、靈活性和生產(chǎn)性的結(jié)果。選配的超聲傳感器控制探頭和玻璃平臺之間的距離，以排除錯(cuò)誤的測量結(jié)果。

SENTECH配方驅(qū)動(dòng)的FTP軟件FTPadv Expert包括預(yù)定義的即用應(yīng)用程序綜合包。它提供了一個(gè)選配的軟件接口，用于將數(shù)據(jù)從測量儀器傳輸?shù)街鳈C(jī)。因此，可以通過來自主機(jī)或傳送的信號手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行薄膜測量。

使用SENTECH SENresearch光譜橢偏儀開發(fā)的配方可以直接傳輸?shù)絉T inline中?；谶@樣的光譜數(shù)據(jù)，甚至可以在線測量復(fù)雜的層疊膜。