基于SEM/FIB改裝的NPGS V9.1電子束曝光系統(tǒng)

　　1)NPGS以既有的SEM、STEM或FIB等為基礎(chǔ)，外加電子束控制系統(tǒng)，透過電腦界面控制電鏡中電子束的矢量掃描，以直接刻寫圖形。

　　2)NPGS系統(tǒng)兼具原SEM的觀測功能。不影響SEM本身功能。

　　3)功能*、操作簡便、使用靈活。

　　4)NPGS和當(dāng)今主流的SEM或FIB等均可配套。

　　NPGS V9.0是一個可以控制掃描電鏡電子束的軟件程序?；陔婄R的電子束曝光簡單分為兩部分：刻寫設(shè)計和圖形運(yùn)行?？虒懺O(shè)計是通過NPGS隨機(jī)提供的DesignCAD程序來做。此CAD程序已經(jīng)過修改，增加了用于電子束曝光的命令。圖形運(yùn)行包括設(shè)定參數(shù)，用于NPGS計算圖形上每個點(diǎn)的位置以及曝光時間。

　　NPGS硬件板卡：定制的微影板卡是基于一個計算機(jī)工作站內(nèi)部高速PCIe插槽安裝的。主要特點(diǎn)是：

　　1. 采用16位高速數(shù)模轉(zhuǎn)換輸出，X、Y雙通道同時輸出，同步掃描頻率5 MHz，兼容6MHz，電子束駐留時間最小增量0.5納秒，且所有頻率下均能達(dá)到這個分辨率。

　　2. 刻寫掃描方式：矢量掃描方式和位圖掃描方式。

　　3. 集成的電子束閘控制輸出。

　　4. 圖像獲取采用集成的16位模數(shù)轉(zhuǎn)換輸入。

　　5. 基于PCIe插槽，安裝方便，運(yùn)行可靠。

　　電子束阻斷器(束閘)：電場型高速束閘。NPGS系統(tǒng)也支持無束閘運(yùn)行。

　　皮可安培計：基于SEM的電子束曝光系統(tǒng)需要一個皮安計，它可精確讀出轟擊樣品的電子束束流。通常，需要從電鏡載物臺外接一個皮安計與樣品電流輸出相連。

　　電鏡束流：NPGS能可選連接控制法拉第杯和/或從皮可安培計讀數(shù)，但大多數(shù)用戶會采用手動控制的法拉第杯和皮可安培計。

　　電鏡參數(shù)及電動臺控制：免費(fèi)提供幾款通用的電鏡數(shù)字驅(qū)動程序及載物臺驅(qū)動程序。如果有串口通訊協(xié)議，本系統(tǒng)支持任何外部控制。