分析從最小的 MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓，或甚至整塊平板顯微器，其間不會(huì)對(duì)樣品造成破壞。借助 300 mm 的橫向移動(dòng)距離和 254 mm 的垂直深度，您可以在 Axio Imager Vario 下檢測(cè)大量樣品。一體化機(jī)柱設(shè)計(jì)確保了穩(wěn)定性。在超凈室內(nèi)檢測(cè)晶圓的應(yīng)用中 – Axio Imager Vario 已通過(guò) DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足潔超凈室等級(jí) 5 的要求。利用驅(qū)動(dòng) Z 軸的電動(dòng)馬達(dá)與自動(dòng)聚焦硬件確保自動(dòng)調(diào)整至更佳聚焦位置。