BX51-IR型近紅外顯微鏡

MX63L-IR型近紅外顯微鏡（12"晶圓檢查專用顯微鏡）

紅外物鏡

LMPLN5XIR	LMPLN10XIR	LCPLN20XIR	LCPLN50XIR	LCPLN100XIR注意

注：分辨率在1100nm波長下計算

新舊紅外物鏡性能對比

LMPL20XIR（舊型號）	LCPLN20XIR（新型號）	LMPL50XIR（舊型號）
LCPLN50XIR（新型號）	LMPL100XIR（舊型號）	LCPLN100XIR（新型號）

紅外顯微鏡的應(yīng)用

– Vcsel芯片隱裂（cracks）、InGaAs瑕疵紅外無損檢測

– 法拉第激光隔離器,Faraday Isolator近紅外無損檢測

– die chip 失效分析

– 紅外透射Wafer正反面定位標(biāo)記重合誤差無損測量

– 硅基半導(dǎo)體Wafer、碲化鎘CdTe、碲鎘汞HgCdTe襯底無損紅外檢測

– 太陽能電池組件綜合缺陷紅外檢測

Vcsel芯片隱裂（cracks）

法拉第激光隔離器膠合偏振片無損檢驗(yàn)

die chip 失效分析

紅外Wafer正反面定位標(biāo)記重合誤差無損測量

硅基半導(dǎo)體Wafer、碲化鎘CdTe、碲鎘汞HgCdTe襯底 缺陷無損紅外檢測

太陽能電池組件綜合缺陷紅外檢測