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LCD導(dǎo)電粒子檢查顯微鏡MX8RT

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更新時(shí)間:2021-05-22 09:39:06瀏覽次數(shù):563

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產(chǎn)品簡介

LCD導(dǎo)電粒子檢查顯微鏡MX8RT采用研究級(jí)顯微鏡RX系列的新照明系統(tǒng)和光學(xué)系統(tǒng),照明均勻,成像清晰。

詳細(xì)介紹

LCD導(dǎo)電粒子檢查顯微鏡MX8RT采用突破性的大金相機(jī)架設(shè)計(jì),可承載8英寸超大工作平臺(tái),穩(wěn)固創(chuàng)新的機(jī)械結(jié)構(gòu)更好的滿足專業(yè)市場(chǎng)需求。

明場(chǎng)觀察(透射)

5W大功率LED,配以N.A.0.5聚光鏡,可以透照明下,觀察LCD彩色液晶顯示屏,器件框架邊緣等。

透射照明與反射照明為獨(dú)立控制,即可同時(shí)亮,也可單獨(dú)亮。

LCD 10X透射光

明場(chǎng)觀察(反射)

遠(yuǎn)心坷拉反射照明系統(tǒng),配以全新設(shè)計(jì)的無限遠(yuǎn)平場(chǎng)消色差長工作距金相物鏡,從低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高畫質(zhì)顯微圖像。

集成電路5X 明場(chǎng)                    集成電路100X 明場(chǎng)

簡易偏光觀察

將起偏器鏡及檢偏鏡插板插入照明的位置,即可進(jìn)行簡易偏光觀察。檢偏鏡可分為固定式和360°旋轉(zhuǎn)式兩種。

PCB橫截面 20X 偏振光


暗場(chǎng)觀察

將暗場(chǎng)照明拉桿拉到位置,即可使用暗場(chǎng)功能,可以觀察物體表面的各種劃痕、雜質(zhì)點(diǎn)及其他細(xì)微缺陷,暗場(chǎng)功能只限于MX8R機(jī)型。

FPC 10X 暗場(chǎng)

DIC微分干涉觀察

在正交偏光的基礎(chǔ)上,插入DIC棱鏡,即可進(jìn)行DIC微分干涉相襯觀察。使用DIC技術(shù),可以使物鏡表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果,極大的提高圖像的對(duì)比度。

5X、10X、20X專為DIC設(shè)計(jì),使得整個(gè)視場(chǎng)的干涉一致,微分干涉效果非常出色,高倍物鏡DIC效果也較好。

導(dǎo)電粒子 20X DIC                       晶圓  50X DIC


產(chǎn)品尺寸圖

LCD導(dǎo)電粒子檢查顯微鏡MX8RT配置參數(shù)

光學(xué)系統(tǒng) 

無限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng) 

觀察方式 

明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC

觀察筒 

30°傾斜,正像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,曈距調(diào)節(jié):50-76mm,分光比:100:0或0:100

30°傾斜,倒像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察頭,曈距調(diào)節(jié)范圍50-76mm,三檔式分光比:0:100或20:80或100:0

目鏡 

高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/25mm,視度可調(diào),可帶單刻度十字分劃板 

高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/26.5mm,視度可調(diào),可帶單刻度十字分劃板 

物鏡 

明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡(5X、10X、20X、50X 、 100X)

無限遠(yuǎn)長工作距平場(chǎng)明暗場(chǎng)消色差金相物鏡(5X、10X、20X、50X 、 100X)

轉(zhuǎn)換器 

明暗場(chǎng)五孔轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽 

明暗場(chǎng)、明場(chǎng)六孔轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽 

明場(chǎng)七孔轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽 

調(diào)焦機(jī)構(gòu) 

反射式機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm ;帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置;內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng),帶光亮度設(shè)定暗扭與復(fù)位按扭 

明暗場(chǎng)反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場(chǎng)光闌,中心均可調(diào);帶明暗場(chǎng)照明切換裝置;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 

載物臺(tái) 

8英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié);平臺(tái)面積525mmx330mm,移動(dòng)范圍: 210mmx210mm ;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng);玻璃載物臺(tái)板,(反射用) 

反射照明系統(tǒng) 

明暗場(chǎng)反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場(chǎng)光闌,中心均可調(diào);帶明暗場(chǎng)照明切換裝置;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 

攝影攝像 

0.5X/0.65X/1X攝像接筒,C型接口,可調(diào)焦 

其他 

起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板;DIC微分干涉組件;反射用干涉濾色片組;高精度測(cè)微尺 

LCD導(dǎo)電粒子檢查顯微鏡拍照效果圖:

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