被測件大長度: 150 mm

工作臺行程: 5m

分度值調(diào)整范圍: 0.05-0.2 μm

*使用分度值: 0.1μm

測量壓力: (1.5±0.1)N

儀器示值穩(wěn)定性: 0.02 μm

儀器誤差: ±(0.03+3ni?λ) μm n是格 ,i是格值 , △λ 是濾光片波長　　　　 誤差

儀器體積: 280x500x700 mm

儀器重量: 40 kg

標(biāo)準(zhǔn)配件: 五筋園臺、 九筋瑪瑙臺、可調(diào)園平臺、 輔助臺、平面測帽　　　　 小球面測帽、干涉濾光片