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OTF-1200X-4-RTP-HV 高真空4RTP 爐 (1E-4 torr)

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更新時(shí)間：2023-02-02 08:38:26瀏覽次數(shù)：504

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產(chǎn)品簡介

OTF-1200X-4-RTP-HV是一款精巧型快速熱處理管式爐(4石英管)，配有高真空系統(tǒng)（機(jī)械泵+分子泵)，帶KF-D25真空法蘭.它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片（達(dá)3）的退火而設(shè)計(jì)，采用10KW紅外燈管加熱，升溫速度為120C/second.30段溫度控制，精度為+/-1C.計(jì)算機(jī)通過RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線

詳細(xì)介紹

OTF-1200X-4-RTP-HV是一款精巧型快速熱處理管式爐(4" 石英管)， 配有高真空系統(tǒng)（機(jī)械泵 +分子泵) ，帶KF-D25 真空法蘭.它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片（達(dá)3“）的退火而設(shè)計(jì)，采用10KW紅外燈管加熱，升溫速度為 120°C/second. 30 段溫度控制，精度為 +/-1°C. 計(jì)算機(jī)通過RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線 。

技術(shù)參數(shù)

爐子
結(jié)構(gòu)
  • Compact 4“ RTP Tube Furnace（雙層莫來石鋼構(gòu))
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命
加熱元件 8根紅外燈管(D=10 L=300 T =200, mm)

工作溫度
  • 1100°C
  • 爐子可以加熱到1100°C, 可以打開上蓋進(jìn)行快速冷卻
升溫速度 室溫~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃ 10oC/sec
降溫速度 64°C/min (在真空: 200 mtorr下), 117°C/min (在一個(gè)大氣壓下)
加熱區(qū) 4" X12"恒溫區(qū)（ +/-5°C ）

溫控儀
  • PID 自動控制，30段程序帶過熱和斷偶保護(hù)功能
  • 熱偶: K type
  • 自整定功能
  • 控溫精度: +/- 0.5°C
  • RS485 串口和溫控軟件
控制芯片 + 數(shù)據(jù)線 + 軟件 軟件界面

石英管和樣品架
  • 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
  • 3" 的樣品架固定在滑動法蘭上，石英材料
  • 一片3" AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。
  • AlN 具有很高的熱導(dǎo)率，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性。
真空法蘭
  • 帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作，兩個(gè)高溫“O”型圈密封，.
  • 滑動法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確。
  • 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)測量其真空度，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
流量計(jì) 裝在前面板上一路流量計(jì)調(diào)整范圍 16 - 160 ml/min
電源 208-240 AC, 50/60 Hz 單相, 10 KW Max. (> 60A 保險(xiǎn))

高真空系統(tǒng)

 結(jié)構(gòu)

移動架尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(W), mm
承重: 600 Lbs

分子泵控制面板 : LCD 顯示

前級泵 和 分子泵 安裝在移動架里面.

真空度 6.3E-5 mbar ( 4" RTP 管式爐在 40 minutes內(nèi))
控制面板 一鍵操作 - 按一下“start"鍵，前級泵和分子泵便開始工作.
系統(tǒng)控制轉(zhuǎn)速 - 根據(jù)真空度和腔體的漏氣情況自動調(diào)整轉(zhuǎn)速.
自保護(hù)功能 - 如果真空腔體漏氣率太高不能達(dá)到高真空，系統(tǒng)會自動保護(hù)，避免因過熱或過流而造成損壞。
LCD 顯示屏 - 雙線性參數(shù)檢查界面，使操作更簡單.
啟動時(shí)間 2 minutes
前級泵在10mbar下的流速 3.8 L/min 50Hz ， 4.4 L/min 60Hz
電源 110V AC 和220V AC 任意切換, 50/60Hz
功率 : 110Watt
包裝 重量和尺寸 RTP 爐子: 110 lbs, 760 x 330 x 530mm (30" x 13" x 21" inch) L x W x H
高真空系統(tǒng): 40 lbs, 600 x 600 x 700mm (24" x 24" x 28") L x W x H
保修期和認(rèn)證 電氣部分一年保修期. (耗材：如石英管，"O"圈和加熱燈管等不在保修范圍內(nèi)）
CE 認(rèn)證

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