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GSL-1700X-60-III-F3LV 1700℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

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更新時(shí)間:2023-02-01 09:22:54瀏覽次數(shù):253

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

GSL-1700X-60-III-F3LV是一款通過(guò)CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

GSL-1700X-60-III-F3LV是一款通過(guò)CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機(jī)械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。

技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

  • 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55℃
  • 爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,減少能量損失
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
  • 三個(gè)溫區(qū)分別被三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制

功率

9 KW(需要75A的空氣開關(guān) )

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz

加熱區(qū)

  • 總加熱區(qū)長(zhǎng)度: 25" (630 mm)
  • 加熱溫區(qū)1長(zhǎng)度: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過(guò)4根硅碳棒加熱,溫度可達(dá)1400℃
  • 升溫速率: 10°C/min
  • 加熱溫區(qū)2長(zhǎng)度:: 10" (250 mm)1700°C 通6根硅鉬棒加熱,溫度可達(dá)1700℃
  • 升溫速率: 5°C/min
  • 加熱溫區(qū)3長(zhǎng)度:: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過(guò)4根硅碳棒加熱,溫度可達(dá)1400℃
  • 升溫速率: 10°C/min

爐管和法蘭尺寸

  • 99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube
  • 尺寸:2-3/8" ( 60mm) O.D.x 2-1/8"I.D. (54mm) x 48" (1200mm) Length
  • 一對(duì)60mm的不銹鋼密封法蘭,法蘭上已安裝閥門和儀表
  • 儀器中包括4個(gè)氧化鋁管堵

溫控系統(tǒng)

  • 3個(gè)溫控系統(tǒng),都是PID30段程序化控溫

控溫精確度

+/-1°C

低真空系統(tǒng)

  • 采用TRP-12的雙旋機(jī)械泵,其針對(duì)于本公司的管式爐,真空度可達(dá)到 10-2 Torr.
  • 一個(gè)KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上,其尺寸為 25mm Dia x 1000mm length ,可于管式爐上的法蘭相連接

數(shù)字式真空顯示計(jì)

  • CE認(rèn)證的皮拉尼式數(shù)顯真空計(jì),帶有LED數(shù)字式顯示,其量程為10-4 to 1000 Torr.
  • 可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

三路浮子混氣系統(tǒng)

  • 3個(gè)浮子流量計(jì)(精確度4%FS)安裝在一個(gè)移動(dòng)架上,可以推動(dòng),可同時(shí)混入三種不同氣體。
  • 路氣體流量范圍為10-100 cc/min.
  • 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min.
  • 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
  • 一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上,壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接
  • 移動(dòng)架上安裝有4個(gè)不銹鋼針閥

尺寸

高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch)

質(zhì)保期& 質(zhì)量認(rèn)證

一年質(zhì)保期. (不包括爐管加熱元件和密封圈 .)

CE certified

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