電源電壓

220V , 50/60 Hz

輸出功率

• < 2000W (including pump)
• 離子電流表：電流：50mA 定時器：最長時間900s

輸出電壓(DC)

1600V

樣品室

石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height

樣品載物臺

• 一個外徑50 mm 的樣品臺, 可以移動三個位置
• 濺射面積: 45 mm

配件

• 120 L/m的雙旋片式機(jī)械真空泵，進(jìn)行抽真空
• 進(jìn)氣口處安裝有儲氣球，防止泵油的回流，排氣口安裝有立式油污過濾器，可以過濾真空泵在工作時產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，和保護(hù)環(huán)境，和人體健康
• 不銹鋼波紋管與 KFD-25接口相連用
• 高純度金箔靶
• 系統(tǒng)需要一個帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶，但我們不提供

可通入氣體

• 多種 氣壓：-1600（-3000）DCV
• 微型真空氣閥：可連接Φ3mm軟管

靶材

標(biāo)配靶材:

• Au target: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
• Cu target: 47 mm dia. x 2.25 mm, 1pcs
• Al target: 47 mm dia. x 3mm, 1pcs

可選靶材

• Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N) available at $1590/ea
• Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N) available at $495/ea
• Graphite target (47mm dia.x 1.0 mm, 4N) available at $295/ea

設(shè)備特點(diǎn)

• 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài)；
• 濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥。在工作時結(jié)合內(nèi)部自動控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體，獲得鍍膜效果；
• 特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長期使用不會出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象；
• 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用；
• 根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

外形尺寸

400mm × 300mm × 400mm（L×W×H）

凈重

50 kg

質(zhì)保期和質(zhì)量認(rèn)證

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)