輸入電源

AC220V單相/50HZ

質(zhì)子流量控制器

流量范圍：

• 一路：1—99SCCM
• 二路：1—199SCCM
• 三路：1—199SCCM
• 四路：1—499SCCM
• 其他量程可以選定 ，標準的均以N2標定（通入其他氣體時可以根據(jù)說明書中列出的氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)，算出所要設(shè)定的氣體流量）。
• 工作溫度：5—45℃
• 準確度：±1.5%F.S.
• 線性：±（0.5-1.5）%F.S.
• 重復精度：±0.2%F.S.

控制面板

• 各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上
• 可通過觸摸屏設(shè)定每個通道的氣體流量，實時查看各通道的流量曲線和設(shè)定數(shù)據(jù)

機械壓力表

• 有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接
• 量程：-0.1Mpa—0.15MPa

氣路接口

氣路的接口都采用6.35的不銹鋼卡套接頭

通氣管道

內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管

外部通氣管道為1/4”聚四氟管

混氣罐

材料：304不銹鋼 Φ80×120mm

外形尺寸

長600×寬745×高700mm

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,，終生維護

質(zhì)量認證

CE Certified