詳細(xì)介紹
氣液混合罐BL-200特別適用于在CVD實驗中將液相蒸汽帶入到反應(yīng)腔中。此混合罐的主體采用316不銹鋼制作,罐體上部安裝有進氣出氣口和一個機械壓力表,兩個不銹鋼截止閥分別安裝在進氣和出氣口上,兩接頭都采用Φ6.35卡套接頭,使得罐內(nèi)可承受氣壓可以承受到0.15Mpa(在正壓環(huán)境下液體蒸汽量提高),同時罐體可承受溫度可以達(dá)到250℃。
技術(shù)參數(shù)
| 規(guī)格 | BL-200-600 | BL-200-1000 |
| 罐體材料 | 316 不銹鋼 | 316 不銹鋼 |
| 容積 | 600ml | 1000ml |
| 罐體尺寸 | Φ75 x 200mm | Φ75 x 300mm |
| 整體外型尺寸 | 130 x 90 x 440mm (L x W x H) | 130 x 90 x 540mm (L x W x H) |
| 機械壓力表量程 | -0.1 ~ 0.15 Mpa | -0.1 ~ 0.15 Mpa |
| 罐內(nèi)壓力 | 0.15Mpa | 0.15Mpa |
| 進氣和出氣接口 | 采用Φ6.35卡套接頭 | 采用Φ6.35卡套接頭 |
| 可承受溫度 | 250°C | 250°C |
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使用注意事項 |
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