輸入電源

• 208 - 240VAC, 單相, 50/60Hz
• 功率為1000W

蠕動(dòng)泵

• 精確度：+/- 0.02% FS
• 流量: 0 - 80 ml/minute （可調(diào)）

加熱系統(tǒng)

• 流體和氣體會(huì)在一個(gè)316不銹鋼罐中加熱，此罐已經(jīng)安裝在殼體中
• 30段程序化控溫，其精確度+/- 1 ºC
• 工作溫度: 300 ºC

氣體流量控制系統(tǒng)

• 氣體流速通過浮子流量計(jì)控制
• 量程: 0 - 2000mml/minute（可調(diào)）
• 一壓力表安裝在殼體面板上，可以測出液氣混合罐中的氣體壓強(qiáng)
• 面板上安裝有兩個(gè)不銹鋼針閥，以控制氣體的進(jìn)出
• 出氣口尺寸：1/4"OD

應(yīng)用

• 此系統(tǒng)可以和本公司所有的管式爐和CVD系統(tǒng)相連接
• 可以選擇加熱帶，纏繞在外連接的管道上，以保證液體蒸汽在傳輸?shù)倪^程中不會(huì)液化

外型尺寸

• 蠕動(dòng)泵: 8"L x 8"Dx 6"H
• 加熱和溫度控制系統(tǒng): 12" x12" x12"
  
  
  

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期