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GSL-4Z 混氣系統(tǒng)4路質(zhì)子

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更新時間：2023-01-30 09:43:53瀏覽次數(shù)：546

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產(chǎn)品簡介

GSL-4Z可以用于控制一種到四種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐，這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架上，管式爐可以放在GSL-4Z的上面，氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥

詳細(xì)介紹

GSL-4Z可以用于控制一種到四種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐，這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架上，管式爐可以放在GSL-4Z的上面，氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥。結(jié)合科晶集團(tuán)的管式爐，它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。

功能模塊

項目

參數(shù)

混氣系統(tǒng)

質(zhì)量流量控制器

工作電壓：185~245V/50Hz

輸出功率：18W

控制范圍：

  • 控制器1：0~100 SCCM
  • 控制器2：1~199 SCCM
  • 控制器3：1~199 SCCM
  • 控制器4：1~499 SCCM

工作溫度：5~45 ºC

壓力：3x106 Pa

準(zhǔn)確度：±1% FS

機(jī)械壓力表

測量范圍：

-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針閥

316不銹鋼

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥

Φ1/4”316不銹鋼針閥

尺寸

600x600x650 mm

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